1、一种在陶瓷阀芯表面沉积防护薄膜的方法,所采用的镀膜机包括真空室、磁控 溅射源、线性离子源和兼具公转和自转的工件托架,工件托架安装在真空室内部,其特 征在于:包括如下步骤:(1)、将陶瓷阀芯先在丙酮溶液中进行超声清洗,再在酒精溶液中进行超声清洗,干 燥后,悬挂固定于工件托架上,使磁控溅射源与线性离子源环绕在陶瓷阀芯周围;
(2)、在磁控溅射源上安装由过渡金属制成的金属靶,将真空室抽真空至小于2.0× 10-5Torr后,通入惰性气体,开启线性离子源,调整陶瓷阀芯的负偏压为0~300V,对 陶瓷阀芯进行离子轰击,工作时间为5~40分钟后,关闭线性离子源;
(3)、对陶瓷阀芯进行第一层薄膜沉积,调整陶瓷阀芯的负偏压为-50~-200V,开启 磁控溅射源电源,调整磁控溅射源的工作电流为2~3A,通入惰性气体,工作时间为: 10~15分钟左右;
(4)、对陶瓷阀芯进行第二层薄膜沉积,保持步骤(3)中的工作条件不变,立刻启动 线性离子源,调整线性离子源的工作电流为0.1~0.2A;同时通入含碳气源,工作时间 为10~15分钟左右;
(5)、对陶瓷阀芯进行第三层薄膜沉积,设置线性离子源的工作电流为0.1~0.2A, 线性离子源的工作电压为:1000~1300V,调整陶瓷阀芯的负偏压为-50~-200V,工作 时间为:60~100分钟。
2、根据权利要求1所述的在陶瓷阀芯表面沉积防护薄膜的方法,其特征在于:所 述步骤(2)中过渡金属为铬或钛或钨。
3、根据权利要求1或2所述的在陶瓷阀芯表面沉积防护薄膜的方法,其特征在于: 所述步骤(4)中通入的含碳气源为甲烷或乙炔。