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专利号: 2010101945039
申请人: 浙江工业大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 光学
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.光纤到户用单纤三向复用器芯片,由非对称Y分支波导和多模干涉型耦合器(MMI)级联形成,其特征在于:所述的非对称Y分支波导的左分支的表面刻蚀有空气槽,所述的空气槽位于左分支的芯层与衬底之间;所述的非对称Y分支波导的右分支为对称结构波导。

2.如权利要求1所述的光纤到户用单纤三向复用器芯片,其特征在于:所述的非对称Y分支波导的左分支的芯层与第一输出波导连接,所述的第一输出波导为S型弯曲波导。

3.如权利要求2所述的光纤到户用单纤三向复用器芯片,其特征在于:所述的非对称Y分支波导的右分支级联所述的MMI的输入波导,所述的输入波导与所述的MMI的多模区波导通过锥形结构波导连接;所述的多模区波导的两个输出端口分别与第二、第三输出波导连接,所述的输出端口与所述的输出波导通过锥形结构波导连接;所述的输出波导为S形弯曲波导;多模波导耦合器的宽度为8.4μm,长度为4462.1μm。

4.如权利要求1-3之一所述的光纤到户用单纤三向复用器芯片,其特征在于:所述的非对称Y分支波导的总长度为12000μm,左分支与右分支之间的夹角为1.3mrad。

5.如权利要求4所述的光纤到户用单纤三向复用器芯片,其特征在于:所述的非对称Y分支波导、输入波导和输出波导均采用掩埋型玻璃基波导,所述的玻璃基波导的芯层折射率为nc=1.51,包层折射率ns=1.46。

6.如权利要求5所述的光纤到户用单纤三向复用器芯片,其特征在于:所述的非对称Y分支波导、输入波导和输出波导的高度均为1.5μm;所述的非对称Y分支波导的左分支的宽度为2μm,右分支的宽度为1.36μm,空气槽的宽度等于2μm。

7.如权利要求6所述的光纤到户用单纤三向复用器芯片,其特征在于:所述的光纤到户用单纤三向复用器芯片的宽度是39.88μm,总长度是17562.1μm。