1.一种光学表面亚表层损伤测量装置的测量方法，测量装置包括激光光源（1），依次放在激光光源（1）发射端的准直扩束镜（2）和分光比为1:1的分光镜（3），准直扩束镜（2）中设置有发射端滤波针孔（11）；在分光镜（3）的透射侧光路上设置有接收端聚光镜（10）和针孔光电探测器（9），在分光镜（3）的反射侧光路上设置有X、Y二维电控平面扫描振镜（4）、测量显微物镜（5）和Z向压电微位移扫描平台（6）；所述针孔光电探测器（9）通过信号初级处理及传输模块（8）、表面反射光计算处理模块（7）与控制显示模块（12）连接，Z向压电微位移扫描平台（6）也与控制显示模块（12）连接，其特征在于：测量方法依次包括下列步骤；

步骤一：将被测样品设置于Z向压电微位移扫描平台（6）上，被测表面向上，测得样品表面的纵向扫描响应信号曲线；

步骤 二：按 照几 何 成像 关系，将 探测 针 孔关 于共 焦 光路 成像 于 被测样品 表面，结 合石英 玻璃的 折射率 和实际 探测针 孔尺寸，按照公 式 计算理想表面反射信号随扫描位置改变的变化曲线；

公式②、公式③和公式④分别是公式 中不同变量的计算公式，其中 为入射光的总功率， 为被测表面的反射率，D为探测针孔直径， 为探测针孔关于共聚焦系统的共轭高， 为测量显微物镜的工作距离， 为接收端聚光镜的工作距离， 为扫描位置距离理想聚焦点距离， 为可进入光电探测器的表面反射光立体角范围， 为测量显微物镜数值孔径所对应的立体角；

步骤三：将步骤一中实测的样品信号，与步骤二中计算的理想曲线最高点统一，去除步骤一曲线中表面以上部分信号，然后对应位置相减，得到高信噪比的亚表层信号；

步骤四：将样品的扫描扩展至三维区域，重复上述操作，获得被测区域的亚表面损伤层信息；

步骤五：利用等高线法重构出被测样品亚表层损伤的三维分布。