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专利号: 2011101732431
申请人: 中北大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 微观结构技术〔7〕
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种MEMS高量程加速度传感器的封装方法,其特征在于:该方法是采用如下步骤实现的:a)在MEMS高量程加速度传感器的芯片(1)上、下表面阳极键合高硼硅玻璃基板(2),两高硼硅玻璃基板(2)的厚度相等;

b)选取陶瓷基板(3),陶瓷基板(3)的厚度等于芯片(1)的厚度与高硼硅玻璃基板(2)的厚度之和,将陶瓷基板(3)和芯片(1)固定到缓冲基板(4)上,保证固定后陶瓷基板(3)和芯片(1)处于同一水平面,且陶瓷基板(3)和芯片(1)间距紧凑;

c)通过丝网印刷技术在芯片(1)上印制芯片焊盘(5),利用模具在陶瓷基板(3)上印制电缆引线用焊盘(6),在芯片焊盘(5)和电缆引线用焊盘(6)之间印制连接导线(7),并在连接导线(7)上覆盖绝缘材料(12);

d)将缓冲基板(4)、芯片(1)、高硼硅玻璃基板(2)、陶瓷基板(3)固定到不锈钢封装管壳(8)中;

e)焊接电缆引线(9)到陶瓷基板上的电缆引线用焊盘(6);

f)利用灌封胶(11)灌封不锈钢封装管壳(8)的内腔;

g)将不锈钢盖板(10)缝接到不锈钢封装管壳(8)上。