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专利号: 201110241686X
申请人: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2023-08-24
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种晶体硅太阳能电池金属电极的制备方法,首先,在p型晶体硅衬底上扩散制备PN结,使p型晶体硅衬底的上表面形成n型发射极表面,然后,在n型发射极表面制备氮化硅减反射层;接着,通过丝网印刷技术在p型导电背表面上印刷Al浆薄层,并在氮化硅减反射层表面丝网印刷Ag栅线薄层,之后采用传统高温烧结技术形成Al背场种子层及Ag栅线种子层;

或者,通过真空溅射或蒸镀技术在p型导电背表面上沉积Al薄层,并在氮化硅减反射层表面丝网印刷Ag栅线薄层,之后采用传统高温烧结技术形成Al背场种子层及Ag栅线种子层;

所述的Al背场种子层的厚度为100nm~1000nm,所述的Ag栅线种子层的厚度为

1μm~5μm;

最后,通过电镀工艺,在所述的Ag栅线种子层和Al背场种子层上电镀锡、铜或镍,用以加厚所述的Ag栅线种子层和Al背场种子层,形成金属电极。

2.根据权利要求1所述的一种晶体硅太阳能电池金属电极的制备方法,其特征是:所述的Ag栅线种子层的宽度为20μm~80μm。

3.根据权利要求1所述的一种晶体硅太阳能电池金属电极的制备方法,其特征是:所述的Ag栅线种子层中,栅线间距为0.5mm~3mm。

4.根据权利要求1、2或3所述的一种晶体硅太阳能电池金属电极的制备方法,其特征是:电镀后,栅线金属电极的厚度为10μm~30μm,Al背场金属电极的厚度为10μm~

30μm。