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专利号: 2011102662667
申请人: 青岛理工大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术〔4〕
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种用于整片晶圆纳米压印自适应承片台,其特征是,它包括:固定基座(1)、浮动底座(2)、真空吸盘(3)和真空管路(4),其中,浮动底座(2)位于固定基座(1)之上;真空吸盘(3)固定于浮动底座(2)的上平面;固定基座(1)中设有水平管路(103),真空管路(4)包括真空管路I(401)和真空管路II(402),真空吸盘3上设有水平进气口;水平管路(103)与真空管路I(401)相连,水平进气口与真空管路II(402)相连。

2.如权利要求1所述的一种用于整片晶圆纳米压印自适应承片台,其特征是,所述固定基座(1)具有凹形球形结构(101),浮动底座(2)具有凸形球形结构(201),固定基座(1)与浮动底座(2)之间为半球形接触。

3.如权利要求1或2所述的一种用于整片晶圆纳米压印自适应承片台,其特征是,所述固定基座(1)内还设有垂直管路(102),固定基座(1)中央设有中心圆形通孔(104),中心圆形通孔(104)下方设有内圆形通孔(105),内圆形通孔(105)分别与中心圆形通孔(104)、水平管路(103)以及垂直管路(102)相通;垂直管路(102)最上端与凹形球形结构(101)相通,垂直管路(102)最下端与内圆形通孔(105)相通。