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专利号: 2011103928032
申请人: 西南交通大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 玻璃;矿棉或渣棉
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种基于摩擦诱导选择性刻蚀的玻璃表面纳米加工方法,其具体操作方法是:

A、将尖端为球状的扫描探针安装在原子力显微镜上,将清洗过的玻璃固定在样品台上,启动原子力显微镜,给探针施加定载荷F,或者变载荷F′,并使探针按照设定的扫描轨迹、扫描循环次数N和扫描速率v在玻璃表面进行扫描;所述的变载荷F′的最大值和定载荷F均不高于临界载荷Fc;

B、将扫描后的玻璃置于质量浓度为10-20%的HF溶液中,腐蚀5-15秒,即可。

2.根据权利要求1所述的一种基于摩擦诱导选择性刻蚀的玻璃表面纳米加工方法,其特征在于:所述的探针的扫描轨迹为正方形面扫描。

3.根据权利要求2所述的一种基于摩擦诱导选择性刻蚀的玻璃表面纳米加工方法,其特征在于:所述的扫描载荷为变载荷,扫描的循环次数为1次。

4.根据权利要求2所述的一种基于摩擦诱导选择性刻蚀的玻璃表面纳米加工方法,其特征在于:所述的探针的扫描载荷为定载荷,扫描的循环次数为2次以上,且后次扫描比前次扫描的面积更小,但扫描中心一致。

5.根据权利要求2所述的一种基于摩擦诱导选择性刻蚀的玻璃表面纳米加工方法,其特征在于:所述的扫描载荷为定载荷,扫描的循环次数为2次以上,且后次扫描与前次扫描的面积相同,但扫描中心不一致。

6.根据权利要求1所述的一种基于摩擦诱导选择性刻蚀的玻璃表面纳米加工方法,其特征在于:所述的探针的扫描轨迹为面扫描,扫描载荷为定载荷,扫描的循环次数为1次。