1.一种表面粗糙度测量装置,包括测量机构和用于驱动工件移动的测量工作台,其特征在于:所述测量工作台包括上下两层台架,每层所述台架均包括直线导向移动副,所述直线导向移动副包括定导轨和与所述定导轨导向配合的气浮导轨,所述气浮导轨由上气浮块、与所述上气浮块底部两侧密封固连的两个侧气浮块以及分别与所述两个侧气浮块底部密封固连并相向延伸的底气浮块构成,所述气浮导轨的内表面由各所述气浮块的出气面构成,所述出气面与所述定导轨正对的位置上设有出气孔,各气浮块的出气孔在所述气浮导轨内部通过气体通道相互连通并共用一个进气孔。
2.根据权利要求书1所述的一种表面粗糙度测量装置,其特征在于:所述上层台架具有一套所述直线导向移动副,所述下层台架具有平行设置的两套直线导向移动副,所述下层台架还包括一个架设在该下层台架的两所述气浮导轨上的支撑平台,所述上层台架固设在该支撑平台上并和该下层台架一起构成“工”字型结构。
3.根据权利要求书1或2所述的一种表面粗糙度测量装置,其特征在于:每层台架上均设有一个驱动气浮导轨沿对应定导轨运动的直线电机。
4.根据权利要求书3所述的一种表面粗糙度测量装置,其特征在于:所述支撑板与所述下层台架的两气浮导轨之间均设有横截面为Z形支撑板,该支撑板的纵向两端均固设有防止所述支撑平台纵向窜动的挡位结构。
5.根据权利要求书1或2或4所述的一种表面粗糙度测量装置,其特征在于:该测量装置还包括设于所述测量工作台一侧的立柱,所述测量机构为设于所述立柱上的激光测量机构,所述激光测量机构通过进步电机驱动的滚珠丝杠在所述立柱上沿竖直方向上下运动。
6.根据权利要求书5所述的一种表面粗糙度测量装置,其特征在于:该激光测量机构包括在所述立柱沿上沿竖直方向上下运动的测量台、固连在该测量台上的传感器支架及固连在该传感器支架端部的激光传感器。
7.一种测量工作台,其特征在于:所述测量工作台包括上下两层台架,每层所述台架均包括直线导向移动副,所述直线导向移动副包括定导轨和与所述定导轨导向配合的气浮导轨,所述气浮导轨由上气浮块、与所述上气浮块底部两侧密封固连的两个侧气浮块以及分别与所述两个侧气浮块底部密封固连并相向延伸的底气浮块构成,所述气浮导轨的内表面由各所述气浮块的出气面构成,所述出气面与所述定导轨正对的位置上设有出气孔,各气浮块的出气孔在所述气浮导轨内部通过气体通道相互连通并共用一个进气孔。
8.根据权利要求书7所述的一种测量工作台,其特征在于:所述上层台架具有一套所述直线导向移动副,所述下层台架具有平行设置的两套直线导向移动副,所述下层台架还包括一个架设在该下层台架的两所述气浮导轨上的支撑平台,所述上层台架固设在该支撑平台上并和该下层台架一起构成“工”字型结构。
9.根据权利要求书7或8所述的一种测量工作台,其特征在于:每层台架上均设有一个驱动气浮导轨沿对应定导轨运动的直线电机。
10.根据权利要求书9所述的一种测量工作台,其特征在于:所述支撑板与所述下层台架的两气浮导轨之间均设有横截面为Z形支撑板,该支撑板的纵向两端均固设有防止所述支撑平台纵向窜动的挡位结构。