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专利号: 2012100637557
申请人: 浙江工业大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2023-12-11
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种外腔式He-Ne激光器的纵模测量系统,其特征在于:所述纵模测量系统包括谐振腔长度可自动调节的外腔式He-Ne激光器、共焦球面扫描干涉仪和计算机数据处理模块,所述外腔式He-Ne激光器包括He-Ne毛细放电管、一个平面镜、一个猫眼逆向反射器和电动滑轨,所述平面镜固定放置于电动滑轨左端,所述He-Ne毛细放电管固定放置于平面镜右端,所述猫眼逆向反射器固定于电动动滑轨的滑片上,而滑片位于毛细管右端,所述滑片可滑动地安装在电动滑轨上;所述平面镜的激光出射方向前端安装所述共焦球面扫描干涉仪,所述共焦球面扫描干涉仪的电信号数据接口与数据采集卡连接,所述数据采集卡与所述计算机数据处理模块。

2.如权利要求1所述的外腔式He-Ne激光器的纵模测量系统,其特征在于:所述共焦球面扫描干涉仪包括两片曲率半径相等的反射镜、一个压电陶瓷和一台锯齿波驱动器,两片反射镜相对放置构成共焦腔,两片反射镜的间距L等于反射镜的半径R,两块反射镜中一块固定不动,另一块固定在压电陶瓷上,所述压电陶瓷与所述锯齿波驱动器连接。

3.如权利要求1或2所述的外腔式He-Ne激光器的纵模测量系统,其特征在于:所述滑片套装在丝杠上,所述丝杆与所述步进电机的输出轴连接,所述步进电机与计算机数据处理模块连接。