1.一种太阳能电池单元的制造方法,该方法包括:
a)提供衬底(100),所述衬底包括(100)第一表面(101)和与该第一表面(101)相对的第二表面(102);
b)对所述第一表面(101)和第二表面(102)分别进行重掺杂,在所述第一表面(101)上形成第一掺杂区(110)以及在所述第二表面(102)上形成第二掺杂区(120);
c)从所述衬底的第一表面(101)和第二表面(102)形成至少两个第一沟槽(300)以及至少一个第二沟槽(301),其中每个所述第二沟槽(301)位于相邻的两个所述第一沟槽(300)之间,从而形成至少两个基板(500)和至少一个基片构成的竖直基板阵列;
d)对所述第一沟槽(300)和第二沟槽(301)的侧壁分别进行重掺杂,在所述第一沟槽(300)的侧壁形成第三掺杂区(130)以及在所述第二沟槽(301)的侧壁形成第四掺杂区(140),且保持所述第一掺杂区(110)和第二掺杂区(120)的表面掺杂类型不发生改变,从而形成竖直太阳能电池阵列,其中,所述第三掺杂区(130)和第四掺杂区(140)中杂质的类型相反。
2.根据权利要求1所述的制造方法,其中:
所述衬底(100)的材料包括单晶Si、单晶Ge、或单晶SiGe,且所述第一表面(101)或第二表面(102)为{110}面或{112}面,且所述第一沟槽(300)和第二沟槽(301)的侧壁为{111}面。
3.根据权利要求1所述的制造方法,其中,对所述第一表面(101)和第二表面(102)进行杂质类型相同的重掺杂。
4.根据权利要求1所述的制造方法,其中,对所述第一表面(101)和第二表面(102)进行杂质类型相反的重掺杂。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的制造方法,其中:
19 -3
所述第一掺杂区(110)和第二掺杂区(120)的最高掺杂浓度高于5×10 cm 。
6.根据权利要求1至4中任一项所述的制造方法,其中,在所述步骤b)之后并且在步骤c)之前还包括:e)在所述衬底(100)的第一表面(101)和第二表面(102)之上分别形成第一基片(200)和第二基片(210)。
7.根据权利要求6所述的制造方法,其中,在所述第一掺杂区(110)和第二掺杂区(120)中杂质的类型相反的情况下:当所述第一掺杂区(110)中杂质的类型为N型、所述第二掺杂区(120)中杂质的类型为P型,则所述第一基片(200)中紧邻衬底(100)的部分的材料为SiN、所述第二基片(210)的中紧邻所述衬底(100)的材料为Al2O3;
当所述第一掺杂区(110)中杂质的类型为P型、所述第二掺杂区(120)中杂质的类型为N型,则所述第一基片(200)中紧邻衬底(100)的部分的材料为Al2O3、所述第二基片(210)中紧邻所述衬底(100)的材料为SiN。
8.根据权利要求6所述的制造方法,其中,在所述第一掺杂区(110)和第二掺杂区(120)中杂质的类型相同的情况下:当所述第一掺杂区(110)和第二掺杂区(120)中杂质的类型均为N型,则所述第一基片(200)和第二基片(210)中紧邻衬底(100)的部分的材料为SiN;
当所述第一掺杂区(110)和第二掺杂区(120)中杂质的类型均为P型,则所述第一基片(200)和第二基片(210)中紧邻衬底(100)的部分的材料为Al2O3。
9.一种太阳能电池单元,该太阳能电池单元,包括基板(500),该基板(500)具有第三表面(501)和与该第三表面(501)相对的第四表面(502),其中,在所述第三表面(501)和第四表面(502)上分别具有第三掺杂区(130)和第四掺杂区(140),在与所述第三表面(501)和第四表面(502)相邻的侧表面上分别具有第一掺杂区(110)和第二掺杂区(120),所述第三掺杂区(130)和第四掺杂区(140)中杂质的类型相反,所述第一掺杂区(110)和第二掺杂区(120)的表面具有单一的掺杂类型。
10.根据权利要求9所述的太阳能电池单元,其中,所述第一掺杂区(110)和第二掺杂区(120)中杂质的类型相同。
11.根据权利要求9所述的太阳能电池单元,其中,所述第一掺杂区(110)和第二掺杂区(120)中杂质的类型相反。
12.根据权利要求9至11中任一项所述的制造方法,其中:
19 -3
所述第一掺杂区(110)和第二掺杂区(120)的表面掺杂浓度高于5×10 cm 。
13.根据权利要求9至11中任一项所述的太阳能电池单元,其中:
在所述第一掺杂区(110)和第二掺杂区(120)的表面上存在第一基片(200)和第二基片(210)。
14.根据权利要求13所述的制造方法,其中,在所述第一掺杂区(110)和第二掺杂区(120)中杂质的类型相同的情况下:当所述第一掺杂区(110)和第二掺杂区(120)中杂质的类型均为N型,则所述第一基片(200)和第二基片(210)中紧邻衬底(100)的部分的材料为SiN;
当所述第一掺杂区(110)和第二掺杂区(120)中杂质的类型均为P型,则所述第一基片(200)和第二基片(210)中紧邻衬底(100)的部分的材料为Al2O3。
15.根据权利要求13所述的太阳能电池单元,在所述第一掺杂区(110)和第二掺杂区(120)中杂质的类型相反的情况下:当所述第一掺杂区(110)中杂质的类型为N型、所述第二掺杂区(120)中杂质的类型为P型,则所述第一基片(200)中紧邻所述衬底(100)的材料为SiN、所述第二基片(210)中紧邻衬底(100)的部分的材料为Al2O3;
当所述第一掺杂区(110)中杂质的类型为P型、所述第二掺杂区(120)中杂质的类型为N型,则所述第一基片(200)中紧邻衬底(100)的部分的材料为Al2O3、所述第二基片(210)中紧邻所述衬底(100)的材料为SiN。