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专利号: 2012101797905
申请人: 凝辉(天津)科技有限责任公司
专利类型:发明专利
专利状态:无效专利
专利领域: 光学
更新日期:2024-02-23
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种光驱动扫描微镜,其特征在于:它包括微驱动器、平面弹簧、可动镜片和光电池。微驱动器的输出端与平面弹簧的输入端相连,平面弹簧的输出端与可动镜片的输入端相连,光电池的输出端与微驱动器的输入端相连;每个器件包括1个可动镜片、2个平面弹簧、2个微驱动器和1个光电池,可动镜片与2个平面弹簧相连,每个平面弹簧与1个微驱动器相连。

2.如权利要求1所述的一种光驱动扫描微镜,其特征在于:所述的微驱动器采用微加工技术制成,基于电热驱动原理,由多层材料,如硅,二氧化硅,金属,金属氧化物等组成。

3.如权利要求1所述的一种光驱动扫描微镜,其特征在于:所述的可动镜片的机械偏转角度为(0-45)度。

4.如权利要求1所述的一种光驱动扫描微镜,其特征在于:所述的平面弹簧采用微加工技术制成,由多层材料,如硅,二氧化硅等组成。

5.如权利要求1所述的一种光驱动扫描微镜,其特征在于:所述的可动镜片采用微加工技术制成,由多层材料,如硅,二氧化硅等组成。

6.如权利要求1所述的一种光驱动扫描微镜,其特征在于:所述的可动镜片的中心部分为在二氧化硅基底上沉积的光学薄膜,反射波长为(300-980)纳米,透射波长为(1020-1550)纳米。

7.如权利要求1所述的一种光驱动扫描微镜,其特征在于:所述的光电池采用微加工技术制成,由多层材料,如硅,二氧化硅等组成;光电池的敏感波长为(1020-1550)纳米。