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专利号: 2012101800664
申请人: 凝辉(天津)科技有限责任公司
专利类型:发明专利
专利状态:无效专利
专利领域: 光学
更新日期:2024-02-23
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种直接光驱动扫描微镜,其特征在于:它包括微驱动器、平面弹簧、可动镜片和微透镜;所述的微驱动器的输出端与所述的平面弹簧的输入端相连,所述的平面弹簧的输出端与所述的可动镜片的输入端相连,所述的微透镜的输出端与所述的微驱动器的输入端相连;每个所述的直接光驱动扫描微镜包括1个所述的可动镜片、2个所述的平面弹簧、2个所述的微驱动器和1个所述的微透镜,每个所述的可动镜片与2个所述的平面弹簧相连,每个所述的平面弹簧与1个所述的微驱动器相连;所述的微驱动器采用微加工技术制成,基于双金属效应,由多层材料组成,其中多层材料包括硅,二氧化硅,金属,金属氧化物,用于将外部输入的驱动信号通过双金属效应转换为机械形变;所述的平面弹簧采用微加工技术制成,由多层材料组成,其中多层材料包括硅,二氧化硅;所述的可动镜片采用微加工技术制成,由多层材料组成,其中多层材料包括硅,二氧化硅。

2.如权利要求1所述的一种直接光驱动扫描微镜,其特征在于:所述的微驱动器采用微加工技术制成,基于双金属效应,由多层材料组成,其中多层材料包括硅,二氧化硅,金属,金属氧化物。

3.如权利要求1所述的一种直接光驱动扫描微镜,其特征在于:所述的可动镜片的机械偏转角度为0-45度。

4.如权利要求1所述的一种直接光驱动扫描微镜,其特征在于:所述的平面弹簧采用微加工技术制成,由多层材料组成,其中多层材料包括硅,二氧化硅。

5.如权利要求1所述的一种直接光驱动扫描微镜,其特征在于:所述的可动镜片采用微加工技术制成,由多层材料组成,其中多层材料包括硅,二氧化硅。

6.如权利要求1所述的一种直接光驱动扫描微镜,其特征在于:所述的可动镜片的反射波长为300-1550纳米。