1.一种直接光驱动扫描微镜,其特征在于:它包括微驱动器、平面弹簧、可动镜片和微透镜。微驱动器的输出端与平面弹簧的输入端相连,平面弹簧的输出端与可动镜片的输入端相连,微透镜的输出端与微驱动器的输入端相连;每个器件包括1个可动镜片、2个平面弹簧、2个微驱动器和1个微透镜,可动镜片与2个平面弹簧相连,每个平面弹簧与1个微驱动器相连。
2.如权利要求1所述的一种直接光驱动扫描微镜,其特征在于:所述的微驱动器采用微加工技术制成,基于双金属效应,由多层材料,如硅,二氧化硅,金属,金属氧化物等组成。
3.如权利要求1所述的一种直接光驱动扫描微镜,其特征在于:所述的可动镜片的机械偏转角度为(0-45)度。
4.如权利要求1所述的一种直接光驱动扫描微镜,其特征在于:所述的平面弹簧采用微加工技术制成,由多层材料,如硅,二氧化硅等组成。
5.如权利要求1所述的一种直接光驱动扫描微镜,其特征在于:所述的可动镜片采用微加工技术制成,由多层材料,如硅,二氧化硅等组成。表面镀有高反射率薄膜。
6.如权利要求1所述的一种光驱动扫描微镜,其特征在于:所述的可动镜片的反射波长为(300-1550)纳米。
7.如权利要求1所述的一种直接光驱动扫描微镜,其特征在于:所述的微透镜采用微加工技术制成,具有低热阻。