1.芯片在线清洗干燥设备，其特征在于：包括设置在清洗机后端的真空干燥设备，所述真空干燥设备(B)包括机架(1)，机架(1)的中部设置衔接清洗机的一对托住芯片(F)两侧边水平运动的干燥传送带(2)，干燥传送带(2)之间下方的机架(1)上设置由机械动力控制顶托芯片(F)上下运动的推板(4)，推板(4)的正上方设置带有真空吸盘(7)和红外加热管(8)的第一真空室(5)，第一真空室(5)的一侧设置通过连杆机构与第一真空室(5)活动连接的、具有与第一真空室(5)下端匹配的密封结构的第二真空室(6)，第二真空室(6)对应第一真空室(5)设置密封结构的一侧开设有与芯片(F)对应的真空吸附孔(9)。

2.根据权利要求1所述的芯片在线清洗干燥设备，其特征在于：所述第二真空室(6)的上部设置与第一真空室(5)配合的密封结构，第一真空室(5)与第二真空室(6)相邻的一侧穿接由伺服电机(101)控制的丝杠(102)，丝杠(102)的两端固定连接两根位于第一真空室(5)外侧的主连杆(103)，两主连杆(103)的外端分别铰接在第二真空室(6)下部的中间位置，丝杠(102)的两端还设置两根位于第一真空室(5)外侧的传送皮带(104)，两传送皮带(104)的外端各连接一固定于第一真空室(5)下部的中间位置的副连杆(105)，两副连杆(105)的外端铰接在第二真空室(6)下部相邻第一真空室(5)的一侧。

3.根据权利要求1或2所述的芯片在线清洗干燥设备，其特征在于：所述芯片在线清洗干燥设备还包括若干台后端设置风切机构(C)的喷淋式清洗装置，所述喷淋式清洗装置包括封闭的喷淋柜(D)，喷淋柜(D)内的上部设置一对承载芯片两侧边的喷淋传送带(24)，喷淋柜(D)内的下部设置封闭的第一喷淋液容器(21)，第一喷淋液容器(21)连接出两条由水泵(27)和电磁阀(26)控制的喷淋管路(28)，所述两条喷淋管路(28)分别位于喷淋传送带(24)所承载的芯片(F)的上方和下方并设置对应芯片(F)的喷嘴(29)，喷淋传送带(24)下部设置一上端开口的收集喷淋后的残液的过渡容器(23)，过渡容器(23)通过设置有过滤网(25)的管路连接到第一喷淋液容器(21)。

4.根据权利要求3所述的芯片在线清洗干燥设备，其特征在于：所述喷淋式清洗装置的喷淋柜(D)内还设置与第一喷淋液容器(21)并联设置在过渡容器(23)下方的用于切换喷淋液的第二喷淋液容器(22)。

5.根据权利要求3所述的芯片在线清洗干燥设备，其特征在于：所述风切机构(C)包括封闭的风切柜(31)，风切柜(31)内设置一对运输芯片(F)的风切传送带(32)，风切传送带(32)的上方设置连接有若干风切风机(33)的第一风室(34)，第一风室(34)通过进风管道(36)与位于风切传送带(32)下方的第二风室(35)连通，所述进风管道(36)上设置减压阀(37)，第一风室(34)对应风切风机(33)处设置有风切过滤网(38)，所述第一风室(34)和第二风室(35)对应风切传送带(32)的位置设置互相对应的位于风切传送带(32)的垂直面内与芯片(F)成一定角度的切向出风口(39)。

6.根据权利要求1或2所述的芯片在线清洗干燥设备，其特征在于：所述芯片在线清洗干燥设备还包括位于清洗线末端的对芯片进行定位的定位台(E)，所述定位台(E)包括支架(51)，支架(51)的下面设置与芯片(F)尺寸对应的由提升气缸(53)推动做上下运动的提升台面(52)，支架(51)的上表面设置环绕提升台面(52)的定位机构，所述定位机构包括两个相邻的垂直固定在支架(51)上表面的固定挡板(54)，还包括两个相对固定挡板(54)设置的由动力气缸(56)驱动推动芯片(F)运动的活动挡片(55)。

7.根据权利要求1或2所述的芯片在线清洗干燥设备，其特征在于：所述芯片在线清洗干燥设备包括顺次设置的盛装化学溶液的喷淋式清洗装置、盛装去离子水的喷淋式清洗装置、盛装纯水的喷淋式清洗装置、盛装高纯水的喷淋式清洗装置、真空干燥设备、定位台。