1.一种微机械陀螺,其特征在于,所述微机械陀螺基于SOI基巨压阻效应,具体包括:键合基板,所述的键合基板上表面设有矩形凹槽即底槽;
微陀螺角速率敏感体,所述的微陀螺角速率敏感体设在键合基板上方,并与键合基板粘结牢固,且微陀螺角速率敏感体包括:键合基板左、右侧上表面分布的固定梳齿电极正极;前、后侧上表面分布的梳齿电极负极;固定梳齿电极正极上表面设置的固定梳齿结构;
梳齿电极负极上表面设置的固定座;对应设在底槽上方的敏感质量块,敏感质量块上均匀分布有通孔阻尼孔;敏感质量块通过组合梁与固定座相连接;组合梁的检测梁根部设有硅纳米线电阻作为敏感机构;
固定梳齿电极正极,所述的固定梳齿电极正极为两个,分别置于键合基板左、右边框的上表面并粘结牢固,并且该固定梳齿电极正极上表面设固定梳齿,并粘结牢固;
梳齿电极负极,所述的梳齿电极负极为敏感质量块左、右两侧驱动梳齿的电极,该电极与固定梳齿电极正极在同一平面,置于键合基板前、后边框上表面,并粘结牢固,并且该电极的上表面设固定座,并粘结牢固;
敏感质量块,所述的敏感质量块表面均布通孔阻尼孔,敏感质量块左、右两侧边缘均匀分布有驱动梳齿,敏感质量块通过组合梁与固定座相连接;
组合梁,所述的组合梁由驱动梁、检测梁、连接块构成,用于连接固定座和敏感质量块。
2.根据权利要求1所述的微机械陀螺,其特征在于,所述的键合基板整体为矩形结构,可为微陀螺角速率敏感体仪的敏感质量块的上下、左右运动提供空间。
3.根据权利要求1所述的微机械陀螺,其特征在于,所述的固定梳齿电极正极上设有所述固定梳齿的基座;所述的梳齿电极负极上设有所述的固定座,固定座有前、后两个,分别置于两个梳齿电极负极上表面,并通过组合梁与敏感质量块相连接;固定座与组合梁相连接部位的上表面设有硅纳米线电阻电极。
4.根据权利要求1所述的微机械陀螺,其特征在于,所述的敏感质量块为矩形,且内嵌在键合基板的底槽中,并可在此底槽中上、下、前、后、左右运动;所述的敏感质量块前、后对称位置分别通过组合梁与固定座相连接。
5.根据权利要求1所述的微机械陀螺,其特征在于,所述的组合梁呈回折形,驱动梁和检测梁通过连接块相连接,连接块两端为“几”字形驱动梁,连接块中间位置设检测梁;组合梁中驱动梁的厚度与敏感质量块的厚度相同,检测梁的厚度小于两侧驱动梁,在检测梁靠近固定座一端的根部上表面设有硅纳米线电阻。
6.根据权利要求1所述的微机械陀螺,其特征在于,所述的固定梳齿与所述敏感质量块两侧边缘的驱动梳齿交叉吻合。
7.根据权利要求4所述的微机械陀螺,其特征在于,所述的敏感质量块的四角对称位置加工有组合梁运动空间,组合梁分别嵌于组合梁运动空间内,组合梁可在组合梁运动空间内上下、左右、前后运动。
8.根据权利要求5所述的微机械陀螺,其特征在于,所述的检测梁的硅衬底层上制作有二氧化硅层,二氧化硅层上制作有硅纳米线电阻层,硅纳米线电阻层的两端分别连接有硅纳米线电阻正极、硅纳米线电阻负极。
9.根据权利要求8所述的微机械陀螺,其特征在于,所述硅纳米线电阻层采用SOI材料制成。