1.一种液相自组装技术制备图案化的ZnO薄膜的方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤一:前驱液的配置:将Zn(NO3)2·6H2O和NH4F溶于蒸馏水中,配成Zn(NO3)2·6H2O浓度为0.05mol/L,NH4F浓度为0.2~0.3mol/L的混合液,调节混合液的pH值为5.5,室温下搅拌混合液至完全澄清,得到前驱液;
步骤二:基板的功能化:将基板洗涤干净,于体积浓度为1%的OTS-甲苯溶液中浸泡制备OTS-SAMs膜,将OTS-SAMs膜干燥去除有机物后于紫外光下照射,得到表面具有功能化的OTS-SAMs膜的基板;
步骤三:薄膜的沉积:将表面具有功能化的OTS-SAMs膜的基板的功能化OTS-SAMs膜的一面朝下悬浮于前驱液表面,使功能化OTS-SAMs膜与前驱液接触,在70℃~80℃沉积制备出非晶态薄膜;
步骤四:薄膜的晶化:将制备的非晶态薄膜干燥后放入马弗炉中,于300℃保温退火
120min得到晶化的图案化的ZnO薄膜。
2.根据权利要求1所述的液相自组装技术制备图案化的ZnO薄膜的方法,其特征在于:步骤一中采用浓度为4mol/L的HNO3溶液和浓度为3mol/L的NaOH溶液调节混合液pH值。
3.根据权利要求1所述的液相自组装技术制备图案化的ZnO薄膜的方法,其特征在于:步骤二中基板洗涤的具体操作为:将基板分别置于去离子水、丙酮、无水乙醇中超声洗涤10min。
4.根据权利要求1所述的液相自组装技术制备图案化的ZnO薄膜的方法,其特征在于:步骤二中基板于体积浓度为1%的OTS-甲苯溶液中浸泡的时间为30min,浸泡前先经过紫外光下照射20min。
5.根据权利要求1所述的液相自组装技术制备图案化的ZnO薄膜的方法,其特征在于:步骤二中OTS-SAMs膜在波长为184.9nm的紫外光下照射40min。
6.根据权利要求1所述的液相自组装技术制备图案化的ZnO薄膜的方法,其特征在于:步骤二中干燥的具体条件为在120℃干燥5min。
7.根据权利要求1所述的液相自组装技术制备图案化的ZnO薄膜的方法,其特征在于:步骤三中沉积时间为20h。
8.根据权利要求1所述的液相自组装技术制备图案化的ZnO薄膜的方法,其特征在于:步骤四中的干燥在室温下进行。
9.根据权利要求1-8中任意一项中所述的液相自组装技术制备图案化的ZnO薄膜的方法,其特征在于:步骤二中OTS-SAMs膜在紫外光下照射时在OTS-SAMs膜上覆盖光掩膜。