1.精密超精密磨削砂轮径向误差补偿方法，其特征在于，包括以下操作步骤： 步骤ー：确定砂轮半径： a、通过激光光源发出光线，经光学系统传播，调整旋转砂轮位置使光线接触砂轮边缘点，再经反射镜反射至面阵(XD，采集砂轮边缘点相对应的坐标值（Xi，Zi)； b、重复步骤a采集多个砂轮边缘点相对应的坐标值； C、任选四个点A、B、C和D，根据数学原理，确定两截线AB和⑶，通过将两截线AB和⑶中垂线相交确定圆心S'； d、重复步骤a到步骤c,确定多个圆心位置； e、将步骤d中所获得的多个圆心位置通过直接最小二乗法确定中心坐标S (xs, zs)； f、通过公式（I )获得中心S到各个砂轮边缘点的距离巧，即： g、将步骤f中获得的中心S到N个测量点的距离通过公式（II)确定砂轮半径r，即：

h、采用鲁棒的圆拟合方法去除步骤b中所获得的边缘点的奇异点；1、将步骤h中去除奇异点后的边缘点数据重复步骤C、过程，再次计算出多个圆心位置（Xj，Zj)进而确定圆心坐标S Cxf s, zf s)和砂轮半径R ; j、根据步骤i中得到的数据点计算高速旋转砂轮径向圆跳动 步骤_.:根据步骤一中所确定的砂轮半径R和待加工表面确定砂轮中心路径； 步骤三：将步骤一中确定好砂轮半径的砂轮沿步骤ニ中确定的砂轮中心路径进行磨削加工。

2.根据权利要求1所述的精密超精密磨削砂轮径向误差补偿方法，其特征在于，步骤一中的步骤b所述的多个砂轮边缘点是指至少8个砂轮边缘点。

3.根据权利要求1所述的精密超精密磨削砂轮径向误差补偿方法，其特征在于，步骤一中的步骤d所述的多个圆心位置是指至少6个圆心位置。

4.根据权利要求1所述的精密超精密磨削砂轮径向误差补偿方法，其特征在于，步骤ニ中所述的待加工表面为具有一定去除函数的表面。

5.根据权利要求1所述的精密超精密磨削砂轮径向误差补偿方法，其特征在于，步骤一中的步骤a所述的光学系统具体为：所述光学系统包括激光光源（6)、准直透镜A (5)、准直透镜B (8)、准直透镜C (4)、消杂光光阑A (9)、消杂光光阑B (3)、分划板A (10)、分划板B (2)、直角棱镜（7)、平面镜（12)和面阵CCD (I); 所述激光光源（6)位于所述准直透镜A (5)焦点处，所述分划板A (10)位于所述准直透镜B (8)的焦点处，所述分划板B (2)位于所述准直透镜C (4)的焦点处； 激光光源（6 )发出的光经准直透镜A (5 )射入直角棱镜（7 )，反射后光路向右传播至准直透镜B (8)，经准直透镜B (8)会聚于分划板A (10)，光线经分划板A (10)成一条光路向右传播测定旋转砂轮（11)边缘点，入射平面镜（12)后沿原光路反射至分划板A (10)，经准直透镜B (8)发散为平行光束向左传播，经直角棱镜（7)透射经准直透镜C (4)汇聚在分划板B (2)上形成一条光路入射到面阵CXD (1)，测算出旋转砂轮（11)此边缘点在面阵CXD (I)上的相对位置。

6.根据权利要求5所述的精密超精密磨削砂轮径向误差补偿方法，其特征在于，所述光学系统还包括消杂光光阑A (9)、消杂光光阑B (3)，所述消杂光光阑A (9)位于所述分划板A (10)与所述准直透镜B (8)之间，所述消杂光光阑B (3)位于所述分划板B (2)与所述准直透镜C (4)之间，经准直透镜B (8)的出射光经消杂光光阑A (9)消除杂光后汇聚于分划板A (10)，经准直透镜C (4)的出射光经消杂光光阑B (3)消除杂光后汇聚于分划板B (2)。

7.根据权利要求1所述的精密超精密磨削砂轮径向误差补偿方法，其特征在于，步骤一中的步骤a所述的光学系统具体为：所述光学系统包括激光光源（6)、准直透镜a (16)、准直透镜、（19)、准直透镜132 (24)、准直透镜C1 (15)、准直透镜C2 (26)、分划板(21)、分划板a2 (22)、分划板Id1 (13)、分划板b2 (28)、直角棱镜a (17)、直角棱镜b (18)、直角棱镜c (25)、平面镜（12)和面阵CCD (I); 所述激光光源（6)位于所述准直透镜a (16)焦点处，所述分划板ai (21)和分划板a2(22)分别位于所述准直透镜、（19)和准直透镜、（24)的焦点处，所述分划板Id1 (13)和分划板b2 (13)分别位于所述准直透镜C1 (15)和准直透镜C2 (26)的焦点处； 激光光源（6)发出的光经准直透镜a (16)射入直角棱镜a (17)，经直角棱镜a (17)反射后两路：光路I向右传播，经所述准直透镜ん（19)汇聚于所述分划板ai (21);光路2经直角棱镜b (18)和直角棱镜c (25)反射向右传播，经所述准直透镜、（24)汇聚于所述分划板a2 (22);调节直角棱镜a (17)、直角棱镜b (18)、直角棱镜c (25)和旋转砂轮(11)位置，使汇聚于所述分划板B1 (21)和分划板a2 (22)的光线经砂轮（11)边缘点入射至平面镜（12)，经平面镜（12)反射后分别沿原光路返回，光路I经直角棱镜a (17)透射经准直透镜C1 (15)汇聚在分划板Id1 (13)上形成一条光路入射到面阵CXD (1)，测算出旋转砂轮（11)此边缘点在面阵CXD (I)上的相对位置；光路2经直角棱镜c (25)透射经准直透镜ら（26)汇聚在分划板b2 (28)上形成一条光路入射到面阵CXD (1)，测算出旋转砂轮(11)此边缘点在面阵CXD (I)上的相对位置。

8.根据权利要求7所述的精密超精密磨削砂轮径向误差补偿方法，其特征在于，所述光学系统还包括消杂光光阑S1 (20)、消杂光光阑a2 (23)、消杂光光阑Id1 (14)、消杂光光阑b2 (27)，所述消杂光光阑&1 (20)位于所述分划板ai (21)与所述准直透镜、（19)之间，所述消杂光光_a2 (23)位于所述分划板a2 (22)与所述准直透镜b2 (24)之间，所述消杂光光固、（14)位于所述分划板Id1 (13)与所述准直透镜C1 (15)之间，所述消杂光光_b2(27)位于所述分划板b2 (28)与所述准直透镜C2 (26)之间。

9.根据权利要求1所述的精密超精密磨削砂轮径向误差补偿方法，其特征在于，所述径向误差补偿方法能够应用于确定砂轮径向圆跳动。