1.一种氮镁共掺杂的p型氧化锌薄膜，其特征在于：所述p型氧化锌薄膜中Mg的摩尔百分含量是5-11％，氮的摩尔百分含量是0.8-1.7％；

其中，所述p型氧化锌薄膜在常温下，其压电常数d33大于16pC/N，其电阻率大于

10

1.2×10 Ω·cm。

2.如权利要求1所述的氮镁共掺杂p型氧化锌薄膜，其特征在于：所述氮镁共掺杂的p型氧化锌薄膜在蓝宝石衬底上通过射频磁控溅射方法来形成，其厚度约为300-400nm。