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专利号: 2013101338862
申请人: 中北大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种基于压电效应的MEMS仿生结构矢量水声传感器,其特征在于:包括基底(1)、框形基座(2)、悬臂梁(3)、质量块(4)、空心玻璃柱体(5)、内侧PZT压电薄膜(6)、以及外侧PZT压电薄膜(7);其中,框形基座(2)的下端面键合于基底(1)的上表面;悬臂梁(3)的外端面固定于框形基座(2)的内表面;质量块(4)固定于悬臂梁(3)的内端面,且质量块(4)的上表面中央垂直开设有圆孔;空心玻璃柱体(5)的下端键合于圆孔内;内侧PZT压电薄膜(6)旋涂于悬臂梁(3)的内端上表面;外侧PZT压电薄膜(7)旋涂于悬臂梁(3)的外端上表面;内侧PZT压电薄膜(6)的底电极与外侧PZT压电薄膜(7)的底电极相互共用;内侧PZT压电薄膜(6)的顶电极与外侧PZT压电薄膜(7)的顶电极相互断开。

2.根据权利要求1所述的基于压电效应的MEMS仿生结构矢量水声传感器,其特征在于:框形基座(2)上固定有外接引线键合焊盘;内侧PZT压电薄膜(6)的极化表面与外接引线键合焊盘之间、外侧PZT压电薄膜(7)的极化表面与外接引线键合焊盘之间均连接有引线。

3.根据权利要求1或2所述的基于压电效应的MEMS仿生结构矢量水声传感器,其特征在于:悬臂梁(3)的数目、内侧PZT压电薄膜(6)的数目、外侧PZT压电薄膜(7)的数目均为四个;四个悬臂梁(3)的外端面分别对称固定于框形基座(2)的内表面;质量块(4)同时固定于四个悬臂梁(3)的内端面;四个内侧PZT压电薄膜(6)一一对应旋涂于四个悬臂梁(3)的内端上表面;四个外侧PZT压电薄膜(7)一一对应旋涂于四个悬臂梁(3)的外端上表面。