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专利号: 2013101384466
申请人: 山东科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2023-12-11
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种准确测量压电薄膜体声波谐振器质量灵敏度的方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)测量压电薄膜体声波谐振器在未施加任何质量负载情况下的空载谐振频率;

(2)在压电薄膜体声波谐振器周围构筑首尾相接的封闭微围墙,将压电薄膜体声波谐振器的表面进行包围,微围墙所围的平面面积为A;

(3)在微围墙包围的区域内注入盐溶液,所注入盐溶液参数:浓度为C,体积为V,密度为P;

(4)将注入盐溶液的器件置于恒温空气环境下,直至微围墙包围区域内的液体全部挥发;

(5)测量液体全部挥发后器件的谐振频率;

(6)清洗微围墙包围区域;

(7)改变注入盐溶液的参数,重复步骤(3)至(6),得到多组液体全部挥发后器件的谐振频率;

(8)计算质量灵敏度的值。

2.根据权利要求1所述的一种准确测量压电薄膜体声波谐振器质量灵敏度的方法,其特征在于,步骤(2)中所述的微围墙的墙壁宽度为10微米至30微米,微围墙的高度为0.3至0.6毫米。

3.根据权利要求1所述的一种准确测量压电薄膜体声波谐振器质量灵敏度的方法,其特征在于,步骤(3)中所述的盐溶液注入到微围墙包围区域内的最小体积应使盐溶液完全覆盖微围墙所围平面,最大体积应使注入后的液面高度低于微围墙的高度的四分之三。

4.根据权利要求1所述的一种准确测量压电薄膜体声波谐振器质量灵敏度的方法,其特征在于,步骤(8)中所述的质量灵敏度的值为谐振频率差对负载质量密度的导数。

5.根据权利要求4所述的一种准确测量压电薄膜体声波谐振器质量灵敏度的方法,其特征在于,所述的负载质量密度为M,其计算公式为:M=(V×P×C)/A。

6.根据权利要求4所述的一种准确测量压电薄膜体声波谐振器质量灵敏度的方法,其特征在于,所述的谐振频率差为压电薄膜体声波谐振器的空载谐振频率与液体全部挥发后器件的谐振频率的差值。