1.一种高精度圆柱形零件外圆的超精加工方法,其特征在于:实现所述加工方法的加工装置,包括上研磨盘、保持架和下研磨盘,所述上研磨盘位于下研磨盘上方,所述保持架位于上研磨盘与下研磨盘之间,上研磨盘的转轴和下研磨盘的转轴呈同轴设置,所述保持架的轴心线和上、下研磨盘的转轴存在确定偏距,所述保持架与保持架驱动曲轴相连;上研磨盘、下研磨盘、保持架、保持架驱动曲轴均可按各自速度独自转动;
所述加工方法包括以下过程:将待加工圆柱形零件放置在所述保持架的工位上,在保持架驱动曲轴的驱动下,保持架中心绕上下研磨盘的转轴做公转运动,同时保持架绕自身中心做自转运动;在保持架和上、下研磨盘驱动下,圆柱形零件做复杂的空间滚动和回转运动;通过上研磨盘对圆柱形零件施加加工载荷;通过上、下研磨盘平面配合磨料对圆柱形零件的外圆进行超精加工。
2.如权利要求1所述的一种高精度圆柱形零件外圆的超精加工方法,其特征在于:加工时,采用固着磨料或游离磨料实现材料去除。
3.如权利要求1所述的一种高精度圆柱形零件外圆的超精加工方法,其特征在于:加工时,研磨盘上安装抛光垫或者涂覆固着磨料。
4.如权利要求1或2所述的一种高精度圆柱形零件外圆的超精加工方法,其特征在于:
所述保持架驱动曲轴为折线形状的轴,所述曲轴上下两端的轴心线之间存在确定偏距,所述下研磨盘的转轴呈中空状,下研磨盘的中部开有通孔,所述曲轴穿过所述下研磨盘的转轴内腔和通孔。
5.如权利要求4所述的一种高精度圆柱形零件外圆的超精加工方法,其特征在于:所述保持架的中心孔与保持架驱动曲轴相连。
6.如权利要求4所述的一种高精度圆柱形零件外圆的超精加工方法,其特征在于:所述保持架呈圆盘状,所述保持架的盘面上开有供待加工零件放置的加工槽,呈放射状、同心圆状或栅格状分布。