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专利号: 2013103614299
申请人: 浙江工业大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2023-12-11
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种X射线探测和成像系统的双镜式探测分析方法,其特征在于:实现该方法的双镜式探测光学部件包括双镜镜筒、X射线跨接式组合折射透镜和第一X射线组合折射透镜,所述X射线跨接式组合折射透镜包括第二X射线组合折射透镜和第三X射线组合折射透镜,所述第二X射线组合折射透镜与所述第一X射线组合折射透镜具有相同的入射口径,所述第二X射线组合折射透镜出射端与所述第三X射线组合折射透镜的入射端连接;所述X射线跨接式组合折射透镜、第一X射线组合折射透镜位于所述双镜镜筒内,所述X射线跨接式组合折射透镜的光轴与第一X射线组合折射透镜的光轴平行,所述X射线跨接式组合折射透镜的聚焦光斑尺寸比第一X射线组合折射透镜的聚焦光斑尺寸小;所述双镜式探测分析方法包括以下步骤:(1)首先调整双镜镜筒,将所述第一X射线组合折射透镜移入光路,使得X射线探测和成像系统的X射线光管所发出的X射线光束的光轴与第一X射线组合折射透镜的光轴重合,让X射线光管发出的X射线光束照射到第一X射线组合折射透镜的入射口径处;

接着,从所述第一X射线组合折射透镜出射的X射线光束传输入X射线探测和成像系统的X射线探测器进行探测分析,得到初步检测分析结果;

(2)经步骤(1)得到初级检测分析结果,判断是否需要对目标进行精细结构的探测分析,如果需要,进入步骤(3);

(3)调整双镜镜筒,将所述第一X射线组合折射透镜移出光路,同时将所述X射线跨接式组合折射透镜移入光路,使得X射线探测和成像系统的X射线光管所发出的X射线光束的光轴与X射线跨接式组合折射透镜的光轴重合,让X射线光管发出的X射线光束照射到X射线跨接式组合折射透镜的入射口径处;

接着,从所述X射线跨接式组合折射透镜出射的X射线光束传输入X射线探测和成像系统的X射线探测器进行探测分析,得到二级检测结果。

2.如权利要求1所述的X射线探测和成像系统的双镜式探测分析方法,其特征在于:

所述双镜镜筒内安装1个第一X射线组合折射透镜和至少两个X射线跨接式组合折射透镜,至少两个X射线跨接式组合折射透镜的聚焦光斑尺寸由大到小分级;所述双镜式探测分析方法还包括以下步骤:(4)经步骤(3)得到二级检测结果,对结果进行分析,判断是否需要调整不同的探测分辨率,对被检目标进行进一步的分析,如果需要,进入步骤(5);

(5)调整双镜镜筒,另一个X射线跨接式组合折射透镜的聚焦光斑尺寸比所述一个X射线跨接式组合折射透镜的聚焦光斑尺寸小,将所述一个X射线跨接式组合折射透镜移出光路,同时将所述另一个X射线跨接式组合折射透镜移入光路,重复步骤(3)针对所述一个X射线跨接式组合折射透镜的操作,得到三级检测结果;

(6)依次类推,逐级增加探测分辨率,直到检测得到针对被检目标的满意的检测结果。

3.如权利要求1或2所述的X射线探测和成像系统的双镜式探测分析方法,其特征在于:所述步骤(1)中,对于X射线荧光分析系统而言,所述第一X射线组合折射透镜对X射线光管发射的X射线光束聚焦,形成探测光斑对被检样品进行分析。

4.如权利要求1或2所述的X射线探测和成像系统的双镜式探测分析方法,其特征在于:所述步骤(1)中,对于X射线显微系统而言,须将被检目标放置在X射线光管与X射线组合折射透镜之间,利用所述第一X射线组合折射透镜的光学原理进行显微放大。

5.如权利要求1或2所述的X射线探测和成像系统的双镜式探测分析方法,其特征在于:所述双镜式探测光学部件还包括双镜机械调整机构,所述双镜镜筒安装在用以将X射线跨接式组合折射透镜或第一X射线组合折射透镜移出或移入X射线探测和成像系统光路的双镜机械调整机构上;所述步骤(3)中,移出移入动作和精度由所述双镜机械调整机构决定。