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专利号: 2013103659618
申请人: 浙江工业大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2023-12-11
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种X射线组合折射透镜的聚焦性能测试方法,其特征在于:实现该方法的装置包括底座导轨、依次位于所述底座导轨上的调整台、X射线组合折射透镜、金属丝和X射线探测器件,X射线光管、激光器可横向移动地安装在所述调整台上,所述金属丝可横向移动和纵向移动地安装在底座导轨上,所述金属丝的尺寸要求是微米量级,所述X射线光管/激光器、X射线组合折射透镜、X射线探测器件形成探测光路,所述X射线光管和激光器的光轴平行,将X射线光管和激光器安装在多维精密调整台上,精密调整并固定两个档位,保证机械轴与所述X射线光管和所述激光器的光轴平行;所述聚焦性能测试方法包括如下步骤:(1)所述X射线组合折射透镜的光轴在制作时已经确定,在显微镜下观察并制作用于标示X射线组合折射透镜光轴的光轴标记线,以备激光校准时使用;

(2)将激光器移入探测光路,使得激光器与X射线组合折射透镜上的两个光轴标记线重合;

(3)将激光器移出探测光路,同时X射线光管移入探测光路;

(4)沿底座导轨纵轴方向移动金属丝,达到距离X射线组合折射透镜最近的位置,将金属丝横向移入探测光路,记录每次移动的位置坐标以及X射线探测器件的探测值;

(5)将金属丝沿底座导轨纵轴方向向远离X射线组合折射透镜的方向移动,记录移动的位置坐标,重复步骤(4),记录X射线探测器件的探测值;

(6)分析计算X射线探测器件的探测值,得到X射线组合折射透镜的聚焦光斑尺寸和光斑强度,得到聚焦性能测试结果。

2.如权利要求1所述的X射线组合折射透镜的聚焦性能测试方法,其特征在于:所述步骤(4)中,横向平移步长0.1~1微米,所述步骤(5)中,纵向平移步长0.5~5毫米。