1.一种基于共烧陶瓷技术的高温无线无源三参数集成传感器,其特征在于:包括第一生瓷片(1)、第二生瓷片(2)、第三生瓷片(3)、第四生瓷片(4)、第五生瓷片(5)、第六生瓷片(6)、第七生瓷片(7)、第八生瓷片(8)、第九生瓷片(9)、第十生瓷片(10)、第十一生瓷片(11);
第一生瓷片(1)、第二生瓷片(2)、第三生瓷片(3)、第四生瓷片(4)、第五生瓷片(5)、第六生瓷片(6)、第七生瓷片(7)、第八生瓷片(8)、第九生瓷片(9)、第十生瓷片(10)、第十一生瓷片(11)自下而上依次层叠成一体;
第一生瓷片(1)的右部开设有上下贯通的第一导气孔(12);第一生瓷片(1)的后部开设有上下贯通的第一排气孔(13);
第二生瓷片(2)的右部开设有上下贯通的第二导气孔(14);第二导气孔(14)与第一导气孔(12)对应贯通;第二生瓷片(2)的后部开设有上下贯通的第二排气孔(15);第二排气孔(15)与第一排气孔(13)对应贯通;第二生瓷片(2)的左部开设有上下贯通的悬臂梁质量块活动孔(16);
第三生瓷片(3)的上表面右部布置有压力敏感电容下极板(17);压力敏感电容下极板(17)与第二导气孔(14)位置正对;第三生瓷片(3)的后部开设有上下贯通的第三排气孔(18);第三排气孔(18)与第二排气孔(15)对应贯通;第三生瓷片(3)的左部打孔加工有悬臂梁质量块(19);悬臂梁质量块(19)与悬臂梁质量块活动孔(16)位置对应;悬臂梁质量块(19)的上表面布置有加速度敏感电容下极板(20);
第四生瓷片(4)的右部开设有上下贯通的压力敏感电容介质孔(21);压力敏感电容介质孔(21)与压力敏感电容下极板(17)位置正对;压力敏感电容介质孔(21)的后孔壁开设有第一排气通道(22);第一排气通道(22)的后端与第三排气孔(18)对应贯通;第四生瓷片(4)的左部开设有上下贯通的加速度敏感电容介质孔(23);加速度敏感电容介质孔(23)与加速度敏感电容下极板(20)位置正对;加速度敏感电容介质孔(23)的左孔壁与第四生瓷片(4)的左表面开设有左右贯通的第二排气通道(24);
第五生瓷片(5)的上表面右部布置有压力敏感电容上极板(25);压力敏感电容上极板(25)与压力敏感电容介质孔(21)位置正对;第五生瓷片(5)的上表面左部布置有加速度敏感电容上极板(26);加速度敏感电容上极板(26)与加速度敏感电容介质孔(23)位置正对;
第六生瓷片(6)的上表面中央布置有温度敏感电容下极板(27);
第七生瓷片(7)为采用铁电介质材料制成的生瓷片;
第八生瓷片(8)的上表面中央分别布置有温度敏感电容上极板(28)和温度敏感LC环路的电感线圈(29);温度敏感电容上极板(28)与温度敏感电容下极板(27)位置正对;温度敏感LC环路的电感线圈(29)的内端与温度敏感电容上极板(28)连接;
第九生瓷片(9)的上表面左前部布置有加速度敏感LC环路的电感线圈(30);
第十生瓷片(10)的上表面右后部布置有压力敏感LC环路的电感线圈(31);
第三生瓷片(3)的下表面与第十生瓷片(10)的上表面开设有上下贯通的过孔(32);过孔(32)内穿设有由金属浆料填充形成的导线(33);
温度敏感LC环路的电感线圈(29)的外端通过导线(33)与温度敏感电容下极板(27)连接;
加速度敏感LC环路的电感线圈(30)的内端通过导线(33)与加速度敏感电容上极板(26)连接;加速度敏感LC环路的电感线圈(30)的外端通过导线(33)与加速度敏感电容下极板(20)连接;
压力敏感LC环路的电感线圈(31)的内端通过导线(33)与压力敏感电容上极板(25)连接;压力敏感LC环路的电感线圈(31)的外端通过导线(33)与压力敏感电容下极板(17)连接。
2.根据权利要求1所述的基于共烧陶瓷技术的高温无线无源三参数集成传感器,其特征在于:温度敏感LC环路、加速度敏感LC环路、压力敏感LC环路集成为一体;温度敏感LC环路、加速度敏感LC环路、压力敏感LC环路共同与一个外部线圈天线耦合。