1.一种具有隔振功能的MEMS矢量水听器封装结构,包括外支柱(1),外支柱(1)内部设有轴向的第一引线孔(1-1)以及与第一引线孔(1-1)相通的安置腔(1-2),安置腔(1-2)的腔口位于外支柱(1)底部,外支柱(1)的底部螺纹连接有用于封堵安置腔(1-2)的堵头(2),安置腔(1-2)内安装有放大电路板(3);外支柱(1)的顶部螺纹连接有软支柱(4),软支柱(4)内部设有轴向的且与外支柱(1)内第一引线孔(1-1)相通的第二引线孔(4-1),软支柱(4)的顶部螺纹连接有支撑底盘(5),支撑底盘(5)上开设有与软支柱(4)内第二引线孔(4-1)相通的第三引线孔(5-1),支撑底盘(5)上靠近边缘的位置设有环形卡槽(5-2),环形卡槽(5-2)内固接有透声帽(6),透声帽(6)内注充有硅油(7);其特征在于:透声帽(6)内还设有软支座(8),软支座(8)包括支撑柱体(8-1),支撑柱体(8-1)上开设有轴向的通孔(8-2),支撑柱体(8-1)的侧壁上均布有四个与通孔(8-2)相通的缓冲孔(8-3),支撑柱体(8-1)的顶面上位于每个缓冲孔(8-3)正上方的位置各设有一个缓冲凸块(8-4),四个缓冲凸块(8-4)顶部共同固定有一个底板(8-5),底板(8-5)上开设有与支撑柱体(8-1)上通孔(8-2)相通的第四引线孔(8-6),底板(8-5)上表面还设有安装槽(8-7);软支座(8)的支撑柱体(8-1)底部固定在支撑底盘(5)上表面中心处,支撑柱体(8-1)的通孔(8-2)与支撑底盘(5)的第三引线孔(5-1)相通;软支座(8)的底板(8-5)上位于安装槽(8-7)内的位置安装有MEMS矢量水听器(9),MEMS矢量水听器(9)的输出端通过导线(10)依次穿过软支座(8)底板(8-5)上的第四引线孔(8-6)、软支座(8)支撑柱体(8-1)的通孔(8-2)、支撑底盘(5)的第三引线孔(5-1)、软支柱(4)的第二引线孔(4-1)、外支柱(1)的第一引线孔(1-1)后与外支柱(1)安置腔(1-2)内的放大电路板(3)输入端连接,放大电路板(3)的输出端通过导线(10)穿过堵头(2)后和输出电缆(11)连接;外支柱(1)、软支柱(4)、支撑底盘(5)、软支座(8)和透声帽(6)均位于同一轴线上。
2.根据权利要求1所述的具有隔振功能的MEMS矢量水听器封装结构,其特征在于:所述的外支柱(1)顶部设有第一连接凸块(1-3),软支柱(4)的底部设有第一连接凹槽(4-2),并且第一连接凸块(1-3)插入到第一连接凹槽(4-2)内并螺纹连接,外支柱(1)顶部的侧壁向上延设有加固槽(1-4),并且加固槽(1-4)卡固在第一连接凹槽(4-2)的外表面上;所述的支撑底盘(5)底部设有第二连接凸块(5-3),软支柱(4)的顶部设有第二连接凹槽(4-3),并且第二连接凸块(5-3)插入到第二连接凹槽(4-3)内并螺纹连接。
3.根据权利要求1或2所述的具有隔振功能的MEMS矢量水听器封装结构,其特征在
于:所述的软支座(8)上的底板(8-5)、支撑底盘(5)和外支柱(1)都是采用303Se不锈钢材料加工而成的;所述的透声帽(6)是采用聚氨酯橡胶材料加工而成的;所述的软支座(8)上的支撑柱体(8-1)、缓冲凸块(8-4)是采用弹性模量很小的“道康宁”硅橡胶制成的;所述的软支柱(4)是采用隔振效果良好的减振橡胶制成的。