1.光致变形薄膜反射镜的面形控制及测量装置，其特征是，

薄膜支撑架（7）将光致变形薄膜（8）周边固定并保持平面状态，采用薄膜边界位移控制器（9）调节薄膜边界位移量，进而调节薄膜预张力，从而完成薄膜初始状态的保持；

激光器（18）发射的激光通过第一激光准直镜（17）得到准直的激光，准直激光通过强度相位调制器（16）、自由空间光隔离器（15）和偏振态控制器（14）完成强度、相位、偏振方向和偏振态的调整，得到单偏振态的准直激光，该单偏振态的准直激光通过分光棱镜（13）进入液晶空间调制器（12）进行小角度偏转，再通过偏振旋转器（11）改变偏转方向，而后激光经过双折射棱镜（10）扫描输出到光致变形薄膜（8）的表面完成薄膜拉伸变形，从而完成薄膜面形控制过程；

激光经过光致变形薄膜（8）散射回来后经过双折射棱镜（10）、偏振旋转器（11）、液晶调制器（12）和分光棱镜（13）后进入第二激光准直镜（19），激光经过第二激光准直镜（19）会聚到达光电探测器（20），完成单点激光测距，通过多点测量后可拟合出薄膜拉伸变形量，与理想面形作比较给面形控制系统提供面形修正量，从而完成薄膜面形的测量。

2.根据权利要求1所述的光致变形薄膜反射镜的面形控制及测量装置，其特征在于，所述双折射棱镜（10）、偏振旋转器（11）和液晶空间光调制器（12）用于实现激光大角度扫描，其工作波段为365nm波段。

3.根据权利要求1所述的光致变形薄膜反射镜的面形控制及测量装置，其特征在于，所述分光棱镜（13）镀有365nm波段半透半反膜。

4.根据权利要求1所述的光致变形薄膜反射镜的面形控制及测量装置，其特征在于，所述两个激光准直镜表面镀有365nm波段全透射膜。

5.根据权利要求1所述的光致变形薄膜反射镜的面形控制及测量装置，其特征在于，所述自由空间光隔离器（15）工作波长为365nm波段，用于隔离散射回光路的激光。

6.根据权利要求1所述的光致变形薄膜反射镜的面形控制及测量装置，其特征在于，所述强度相位调制器（16）工作波段为紫外波段，用于调整激光的强度和相位。

7.根据权利要求1所述的光致变形薄膜反射镜的面形控制及测量装置，其特征在于，所述激光器（18）工作波长为365nm波段。

8.根据权利要求1所述的光致变形薄膜反射镜的面形控制及测量装置，其特征在于，所述光电探测器（20）为GaN探测器，其工作波段为近紫外波段可探测经过光致变形薄膜散射回来的光，用于激光测距。