1.一种大口径大相对孔径抛物面反射镜面形误差的检测方法,其特征在于:包括如下步骤:第一步:选择透射标准镜头,并装夹至激光波面干涉仪上;
第二步:调整激光波面干涉仪的位置,使激光波面干涉仪的焦点与其调整机构的旋转中心O重合;
第三步:调整被测抛物面反射镜的焦点与激光波面干涉仪的焦点重合;
第四步:调整被测抛物面反射镜的光轴与激光波面干涉仪的光轴共轴;
第五步:调整标准平面反射镜,使入射至被测抛物面反射镜的光线经平面镜反射后沿原路返回,即形成自准直测量原理;
第六步:根据激光干涉仪上所安装透射标准镜头的相对孔径,旋转干涉仪,使激光波面干涉仪对准第一环子孔径A,用激光波面干涉仪测量被测抛物面此区域的面形误差,数据存盘,并记录激光波面干涉仪的旋转角度;
所述子孔径的划分方案:根据激光波面干涉仪标准透镜的相对孔径,可以获得激光波面干涉仪的视场角θ,定义激光波面干涉仪所对准的被测件的区域为第一环上第一个子孔径A,根据两两子孔径重叠面积不小于单一子孔径面积1/4的原则,分别可以获得第一环上的所有子孔径以及其他环上的所有子孔径;
第七步:根据子孔径划分方案,使干涉仪依次对准子孔径B、C、D,并利用激光波面干涉仪测量被测抛物面反射镜的对应子孔径区域面形,数据存盘,并记录激光干涉仪和被测抛物面反射镜的相应转动角度;
第八步:重复第六步和第七步,直到所有子孔径区域测量完毕,将激光波面干涉仪的旋转角度、标准平面反射镜的旋转角度和激光波面干涉仪的面形误差数据送入主控计算机,将检测得到的多幅子孔径的面形误差图拼接成全口径的面形误差图。
2.根据权利要求1所述的大口径大相对孔径抛物面反射镜面形误差的检测方法,其特征在于:所述主控计算机的数据处理算法程序包括重叠区域的数据提取算法和区域数据的拼接算法,其中:所述重叠区域的数据提取算法根据激光波面干涉仪旋转运动组件的旋转角度和C轴旋转台的旋转角度确定两相邻子孔径的大致重叠区域,由激光波面干涉仪所测面形误差是相对理想被测抛物面的偏差,相当于激光波面干涉仪测量平面元件的面形误差。