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专利号: 201310597265X
申请人: 西南交通大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 液体变容式机械;液体泵或弹性流体泵
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.磁流体力学微泵,其特征在于:包括基底(1),所述基底(1)的下表面设置有平面型电磁铁,所述基底(1)的上表面设置有基体(2),所述基体(2)上刻蚀有微通道(3)以及与微通道(3)连通的储液池(4),在微通道(3)的两侧设置有电极(5),所述电极(5)溅射在基体(2)的上表面,还包括用于将微通道(3)密封的封装层(6),所述封装层(6)上设置有用于将液体注入储液池(4)的注液口(7)和电极接入孔(8),在基底(1)的下表面设置平面电磁线圈(9)形成所述的平面型电磁铁,所述基底(1)的下表面沉积有绝缘层,所述绝缘层上开有通孔(10),所述通孔(10)位于平面电磁线圈(9)的中心,所述绝缘层上表面沉积有磁轭结构(11),所述磁轭结构(11)在所述通孔(10)处与平面电磁线圈(9)的中心电接触。

2.如权利要求1所述的磁流体力学微泵,其特征在于:在绝缘层的上表面沉积镍层形成所述的磁轭结构(11)。

3.如权利要求2所述的磁流体力学微泵,其特征在于:所述绝缘层采用二氧化硅制成。

4.根据权利要求1至3中任意一项权利要求所述的磁流体力学微泵,其特征在于:所述封装层(6)采用聚二甲基硅氧烷制成。

5.如权利要求4所述的磁流体力学微泵,其特征在于:所述封装层(6)的厚度为10~

40μm。

6.如权利要求5所述的磁流体力学微泵,其特征在于:所述电极(5)与基体(2)的上表面之间沉积有钛层。

7.如权利要求6所述的磁流体力学微泵,其特征在于:所述基体(2)采用SU-8光刻胶制成。

8.如权利要求7所述的磁流体力学微泵,其特征在于:所述电极(5)为金电极。