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专利号: 2013107326750
申请人: 杭州电子科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.基于SOI工艺的背栅漏半浮前栅N-MOSFET射频开关零损耗器件,其特征在于,包括P型半导体衬底(1)、埋氧化层(2)、P型沟道区(12)和深沟槽隔离区(4-1、4-2),埋氧化层(2)覆盖在P型半导体衬底(1)上,P型沟道区(12)设置在埋氧化层(2)上,深沟槽隔离区(4-1、4-2)设置在埋氧化层(2)上且环绕P型沟道区(12)、N型源区(3)和N型漏区(11)的四周;

在紧靠P型沟道区(12)的一侧设置一个较重掺杂N型半导体区作为MOS器件的N型源区(3),结深较深;另一侧设置一个较重掺杂N型半导体区作为MOS器件的N型漏区(11),该漏区结深小于P型沟道区(12)或者深沟槽隔离区(4-1、4-2)的厚度;一薄层横向氧化层作为栅氧化层(9)设置在P型沟道区(12)上,覆盖N型源区(3)顶部的局部、P型沟道区(12)的顶部全部、N型漏区(11)顶部的局部;一多晶硅层作为MOS栅(8)设置在栅氧化层(9)之上;

在深沟槽隔离区(4-1)顶部全部、N型源区(3)顶部一部分覆盖第一场氧化层(5-1);

在N型源区(3)顶部一部分、栅氧化层(9)一侧面、MOS栅(8)一侧面、MOS栅(8)顶部一部分覆盖第二场氧化层(5-2);在MOS栅(8)顶部一部分、MOS栅(8)一侧面、栅氧化层(9)一侧面、N型漏区(11)顶部一部分覆盖第三场氧化层(5-3);在N型漏区(11)顶部一部分、深沟槽隔离区(4-2)顶部全部覆盖第四场氧化层(5-4);N型源区(3)顶部的其余部分覆盖金属层作为源电极(6),源电极(6)覆盖部分第一场氧化层(5-1)的顶部、部分第二场氧化层(5-2)的顶部;MOS栅(8)顶部的其余部分覆盖金属层作为栅电极(7),栅电极(7)覆盖部分第二场氧化层(5-2)的顶部、部分第三场氧化层(5-3)的顶部;N型漏区(11)顶部的其余部分覆盖金属层作为漏电极(10),漏电极(10)覆盖部分第三场氧化层(5-3)的顶部、部分第四场氧化层(5-4)的顶部。

2.基于SOI工艺的背栅源半浮前栅N-MOSFET射频开关零损耗器件,其特征在于,包括P型半导体衬底(1)、埋氧化层(2)、P型沟道区(12)和深沟槽隔离区(4-1、4-2),埋氧化层(2)覆盖在P型半导体衬底(1)上,P型沟道区(12)设置在埋氧化层(2)上,深沟槽隔离区(4-1、4-2)设置在埋氧化层(2)上且环绕P型沟道区(12)、N型源区(3)和N型漏区(11)的四周;

在紧靠P型沟道区(12)的一侧设置一个较重掺杂N型半导体区作为MOS器件的N型源区(3),该源区结深小于P型沟道区(12)或者深沟槽隔离区(4-1、4-2)的厚度;另一侧设置一个较重掺杂N型半导体区作为MOS器件的N型漏区(11),结深较深;一薄层横向氧化层作为栅氧化层(9)设置在P型沟道区(12)上,覆盖N型源区(3)顶部的局部、P型沟道区(12)的顶部全部、N型漏区(11)顶部的局部;一多晶硅层作为MOS栅(8)设置在栅氧化层(9)之上;

在深沟槽隔离区(4-1)顶部全部、N型源区(3)顶部一部分覆盖第一场氧化层(5-1);

在N型源区(3)顶部一部分、栅氧化层(9)一侧面、MOS栅(8)一侧面、MOS栅(8)顶部一部分覆盖第二场氧化层(5-2);在MOS栅(8)顶部一部分、MOS栅(8)一侧面、栅氧化层(9)一侧面、N型漏区(11)顶部一部分覆盖第三场氧化层(5-3);在N型漏区(11)顶部一部分、深沟槽隔离区(4-2)顶部全部覆盖第四场氧化层(5-4);N型源区(3)顶部的其余部分覆盖金属层作为源电极(6),源电极(6)覆盖部分第一场氧化层(5-1)的顶部、部分第二场氧化层(5-2)的顶部;MOS栅(8)顶部的其余部分覆盖金属层作为栅电极(7),栅电极(7)覆盖部分第二场氧化层(5-2)的顶部、部分第三场氧化层(5-3)的顶部;N型漏区(11)顶部的其余部分覆盖金属层作为漏电极(10),漏电极(10)覆盖部分第三场氧化层(5-3)的顶部、部分第四场氧化层(5-4)的顶部。