1.一种基于摩擦诱导选择性刻蚀的砷化镓表面微纳米加工方法，其具体操作是：A、将金刚石探针安装在扫描探针显微镜或多点接触微纳米加工设备上，将清洗过的砷化镓固定在样品台上，启动设备，给探针施加不小于理论临界载荷Fc的载荷F，并使探针按照设定的扫描轨迹在砷化镓表面进行扫描；所述的理论临界载荷Fc，按以下方法确定:A1、由公式 算出金刚石探针和砷化镓的等效弹性模量E，式中v1、v2分别为金刚石探针和砷化镓的泊松比,E1、E2分别为金刚石探针和砷化镓的弹性模量；

A2、由公式 算出砷化镓发生屈服的临界应力所对应的理论临界载荷Fc，式中σc为砷化镓发生屈服的临界应力，R是金刚石探针的等效曲率半径；

B、将H2SO4、H2O2和H2O按H2SO4:H2O2:H2O=1:0.5:100的体积比配制混合溶液，再将扫描后的砷化镓置于混合溶液中刻蚀5-120分钟，即可。

2.根据权利要求1所述的一种基于摩擦诱导选择性刻蚀的砷化镓表面微纳米加工方法，其特征在于：所述的金刚石探针的等效曲率半径为5μm。