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专利号: 2014100352636
申请人: 陕西师范大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种热处理透明导电薄膜材料的方法,其特征在于,首先,在柔性衬底上沉积透明导电薄膜,然后在透明导电薄膜的两个位置加上电压,通入电流,使透明导电材料温度上升,达到热处理效果,提高透明导电材料的透过率及电学性能;在柔性衬底上沉积透明导电薄膜是采用热蒸发、电子束蒸发、真空溅射、化学气相沉积或者喷涂的方式;在对透明导电薄膜进行热处理时,加直流或交流电压;

通过PID控制系统实时地改变通入电流的大小,维持透明导电薄膜表面的温度不变,达到热处理所需要的温度。

2.根据权利要求1所述的热处理透明导电薄膜材料的方法,其特征在于,所述柔性衬底是高分子材料。

3.根据权利要求2所述的热处理透明导电薄膜材料的方法,其特征在于,所述柔性衬底是PET、聚酰胺、聚碳酸酯或聚乙烯。

4.根据权利要求1所述的热处理透明导电薄膜材料的方法,其特征在于,透明导电薄膜是掺杂的氧化铟、掺杂的氧化锡和掺杂的氧化锌中的一种或多种的混合物、合金、或叠层薄膜。

5.根据权利要求1所述的热处理透明导电薄膜材料的方法,其特征在于,透明导电薄膜厚度在10纳米到3微米之间。