1.一种钴掺杂的非晶碳膜/GaAs/Ag光敏电阻器件,其特征在于:它的底层为硅(Si)掺杂的n型GaAs基片,基片上设置的两个电极区中的一个电极区上,镀有钴(Co)掺杂的非晶碳膜(a-C:Co),该非晶碳膜层上设置有镀银(Ag)层;基片上设置的另一个电极区上直接设置有镀银(Ag)层,两个镀银(Ag)层构成一对电极。
2.根据权利要求1所述的一种钴掺杂的非晶碳膜/GaAs/Ag光敏电阻器件,其特征在-2
于:所述使用硅(Si)掺杂的n型GaAs基片的电阻率为10 Ω.cm。
3.根据权利要求1所述的一种钴掺杂的非晶碳膜/GaAs/Ag光敏电阻器件,其特征在于:钴(Co)掺杂的非晶碳膜(a-C:Co)的Co掺杂量为10 at%(原子百分比)。
4.根据权利要求1所述的一种钴掺杂的非晶碳膜/GaAs/Ag光敏电阻器件,其特征在于:所述钴(Co)掺杂的非晶碳膜(a-C:Co)的非晶碳膜层厚为35-45nm;镀Ag层的层厚为
50-100nm。
5.制备一种钴掺杂的非晶碳膜/GaAs/Ag光敏电阻器件的方法,其特征在于:该方法的步骤是,以硅(Si)掺杂的n型GaAs基片作为底层,底层上预设两个电极区位,在其中的一个电极区位的基片上,采用脉冲激光沉积方法制备金属Co掺杂的非晶碳膜,并通过掩膜板在所制备的金属Co掺杂的非晶碳膜上,再采用真空热蒸发方法蒸镀Ag层;底层上另一个电极区位的基片上也采用真空热蒸发方法直接蒸镀Ag层,则制备成:由Co掺杂的非晶碳膜的p型半导体与硅(Si)掺杂的n型GaAs基片构成的p-n结,由硅(Si)掺杂的n型GaAs基片与其上的镀Ag层构成的肖特基结的双结串联结构的光敏电阻器件。
6.根据权利要求5所述的制备一种钴掺杂的非晶碳膜/GaAs/Ag光敏电阻器件的方法,其特征在于:所述采用脉冲激光沉积方法制备金属Co掺杂的非晶碳膜,是在镀膜时使用纯度为99.99%的石墨和99.9%的金属Co为靶源,金属Co片贴在石墨靶上,操作中,通过靶和样件基片自转实现均匀掺杂,Co掺杂量为10 at%,激光能量390毫焦/脉冲,腔体真空度-4
1×10 mBar,基片温度480℃,靶与基片距离5cm,镀膜后退火30分钟,自然降温到室温,非晶碳膜厚为35-45nm。
7.根据权利要求5所述的制备一种钴掺杂的非晶碳膜/GaAs/Ag光敏电阻器件的方法,其特征在于:所述的真空热蒸发方法蒸镀Ag层,是将一小段50毫克、纯度为99.9%的Ag放-6入加热舟内,腔内抽至背底真空10 mBar,室温下增大电流直至Ag镀层厚度为50-100nm。