1.一种基于 MEMS硅基中红外波段光调制器，其特征在于：在SOI材料的顶层硅上分别刻蚀出由弯曲硅波导（3）、电极（4）和条形硅波导（1）组成两组相同的波导结构，两组波导结构分别沿顶层硅中心方向相反且对称布置，每条弯曲硅波导（3）的一端与条形波导（1）连接，每条弯曲硅波导（3）的另一端与电极（4）连接；在二氧化硅衬底（5）上开有一排等距、布置的多个空气槽，两根条形波导（1）位于多个空气槽的上方，相邻凹槽连接处用来支撑两根条形波导（1）。