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专利号: 2014101626031
申请人: 淮阴师范学院
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-02-23
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种掺钴非晶碳膜/硅光伏器件的制备方法,其特征在于:该方法以N型硅(n-Si)基片作为衬底,于所述衬底上表面预设两片区域,在其中一片区域,采用脉冲激光沉积方法制备钴掺杂的非晶碳膜,然后采用真空热蒸发方法在该碳膜上蒸镀Ag层;在所述衬底上表面另一片区域,直接用真空热蒸发方法将Ag层蒸镀于该区域的n-Si基片上,则制备成:由P型钴掺杂的非晶碳膜与N型Si基片组成的具有光伏特性的P-N结;所述N型硅基片是取磷掺杂的n-Si基片,其电阻率为8-13 Ω·cm,在该基片的一片区域,采用脉冲激光沉积方法制备钴掺杂的非晶碳膜是使用纯度为99.99%的石墨和99.9%的金属Co为靶源,金属Co片贴在石墨靶上,操作中,通过靶和样件基片自转实现均匀掺杂,Co掺杂量的原子百分比为10 %,激光能量320毫焦/脉冲,腔体真空度1×10-4mBar,基片温度400℃,靶与基片距离5cm,镀膜后自然降温到室温,膜厚为25nm;所述采用真空热蒸发方法蒸镀Ag层,是通过掩膜板的控制,对所制备的钴掺杂的非晶碳膜上及n-Si基片上表面另一片区域蒸镀Ag层,蒸镀Ag层时,将-6

一小段50毫克、纯度为99.9%的Ag放入真空腔内的钨片上,腔内抽至背底真空10 mBar,通过电流升温将钨片加热,使Ag蒸发到钴掺杂的非晶碳膜表面及衬底n-Si基片上表面另一个区域,直至两个Ag镀层厚度均为100nm。