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专利号: 2014101824615
申请人: 中山市格兰特实业有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 层状产品
更新日期:2024-02-23
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种可异地弯钢双银LOW-E玻璃,包括有玻璃基片(1),其特征在于:在玻璃基片的复合面上由内到外依次相邻地复合有九个膜层,其中第一膜层即最内层为Si3N4层(21),第二层为AZO层(22),第三层为Ag层(23),第四层为NiCrNy层(24),第五层为ZnSn层(25),第六层为AZO层(26),第七层为Ag层(27),第八层为NiCrOy层(28),最外层为Si3N4层(29),所述第一膜层的Si3N4层(21)的厚度为25~45nm,所述第二层AZO层(22)的厚度为5~15nm,所述第六层AZO层(26)的厚度为5~15nm,所述第三层Ag层(23)的厚度为5~15nm,所述第七层Ag层(27)的厚度为5~15nm,所述第四层NiCrNy层(24)的厚度为1.5~3nm,所述第八层NiCrOy层(28)的厚度为1.5~3nm,所述第五层ZnSn层(25)的厚度为70~100nm,所述最外层Si3N4层(29)的厚度为30~55nm。

2.一种制备权利要求1所述的可异地弯钢双银LOW-E玻璃的方法,其特征在于包括如下步骤:(1)磁控溅射Si3N4层,用交流中频电源、氮气作反应气体溅射半导体材料SiAl重量比Si:Al=90:10,密度96%;

(2)磁控溅射AZO层,用交流中频电源溅射陶瓷钛靶;

(3)磁控溅射Ag层,用交流电源溅射;

(4)磁控溅射NiCrNy层,用直流电源溅射,用氮气做反应气体;

(5)磁控溅射ZnSn层,用交流电源溅射,用氧气做反应气体;

(6)磁控溅射AZO层,用中频交流电源溅射陶瓷Zn靶,为Ag层作铺垫;

(7)磁控溅射Ag层,用交流电源溅射;

(8)磁控溅射NiCrOy层,用直流电源溅射,用氧气做反应气体,渗少量氧气;

(9)磁控溅射Si3N4层,用交流中频电源、氮气作反应气体溅射半导体材料SiAl重量比Si:Al=90:10,密度96%。