1.一种ITO膜刻蚀液，其是由以下重量组分配制得到：

0.4～0.6重量份的三氟甲基磺酸，2.5～2.8重量份的亚乙基二胺四甲叉膦酸钠，

1.5～2重量份的1、2-乙二磺酸，6～7重量份的草酸以及88～90重量份的配制用水。

2.如权利要求1所述的ITO膜刻蚀液，其特征在于：三氟甲基磺酸用量为0.5重量份。

3.如权利要求1所述的ITO膜刻蚀液，其特征在于：1、2-乙二磺酸用量为1.8重量份。

4.如权利要求1所述的ITO膜刻蚀液，其特征在于：亚乙基二胺四甲叉膦酸钠用量为

2.8重量份。

5.如权利要求1所述的ITO膜刻蚀液，其特征在于：草酸用量为2.8重量份。

6.如权利要求1～5中任意一项所述的ITO膜刻蚀液，其特征在于：刻蚀液是由以下重量组分配制得到：

0.5重量份的三氟甲基磺酸，2.8重量份的亚乙基二胺四甲叉膦酸钠，1.8重量份的1、

2-乙二磺酸，6重量份的草酸，89重量份的配制用水。