1.一种基于阴极优化的阵列群电极制备方法,其特征在于:所述制备方法包括以下步骤:
(1)阵列电极毛坯制作:将金属材料切割成正多边形截面的阵列结构,其截面边长尺寸为a,电极长度L和间距d;
(2)群电极夹具表面涂覆一层环氧树脂绝缘胶,所述阵列群电极毛坯裸露;
(3)根据毛坯结构尺寸,设计阵列群电极电化学加工间隙电场物理模型,设定加工电压U、电解液电导率参数κ;侧面圆柱面阴极的圆柱面半径R,轴线距离阵列电极侧面距离D1,旋转角α;球面阴极的球面半径ΦR,阴极球心距离阵列毛坯中心电极距离D2,球面辐射角β,根据设定参数制备侧面圆柱面阴极和球面阴极;
(4)所述群电极夹具的四周安装四块侧面圆柱面阴极,在所述群电极夹具的上方布置球面阴极,所述阵列微细群电极毛坯的中心与所述球面阴极的中心位于同一铅垂线上;侧面圆柱面阴极和阵列电极毛坯一起浸没入电解液,基于模拟分析参数进行实验加工,通过调节加工电压实现工具电极轴向直径尺寸一致性控制,实现所需尺寸阵列微细群电极电化学制备。
2.如权利要求1所述的一种基于阴极优化的阵列群电极制备方法,其特征在于:所述步骤(4)中,结合在线显微镜观察并测量工具电极直径变化,实现所需尺寸阵列微细群电极电化学制备。
3.如权利要求1或2所述的一种基于阴极优化的阵列群电极制备方法,其特征在于:
所述步骤(3)中,圆柱面工具阴极内表面、球面阴极内表面涂覆一层绝缘胶。
4.如权利要求1或2所述的一种基于阴极优化的阵列群电极制备方法,其特征在于:
所述步骤(3)中,采用有限元优化方法设计阴极结构:设置目标函数Function为阳极表面各电极电流密度差最小,在设定尺寸ΦR、D2和球面辐射角β前提下,优化分析得到侧面工具阴极圆柱面半径R,轴线距离阵列电极侧面距离D1,旋转角α;基于优化分析得到的R、D1和α,再次优化得到阴极球面半径ΦR,阴极球心距离阵列毛坯中心电极距离D2,球面辐射角β;根据优化结果制备工具阴极。
5.一种基于阴极优化的阵列微细群电极制备装置,包括机床、电解槽和加工电源,其特征在于:所述电解槽的内腔底部设有用于放置待加工阵列微细群电极毛坯的群电极夹具,所述群电极夹具的四周安装四块侧面圆柱面阴极,在所述群电极夹具的上方布置球面阴极,所述阵列微细群电极毛坯的中心与所述球面阴极的中心位于同一铅垂线上,所述球面阴极安装在所述机床上,所述球面阴极、侧面圆柱面阴极与所述加工电源的负极连接,所述待加工阵列微细群电极毛坯与所述加工电源的阳极连接。
6.如权利要求5所述的一种基于阴极优化的阵列微细群电极制备装置,其特征在于:
在所述圆柱面工具阴极内表面、球面阴极内表面、群电极夹具涂覆一层绝缘胶层。
7.如权利要求5或6所述的一种基于阴极优化的阵列微细群电极制备装置,其特征在于:所述装置还包括在线显微镜,所述在线显微镜位于所述电解槽的侧面,所述电解槽的侧面设有观察窗。