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专利号: 2014102303530
申请人: 淮阴师范学院
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-02-23
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种铝/铁掺杂非晶碳膜/铝纳米薄膜记忆电阻存储器,其特征在于:该纳米薄膜记忆电阻存储器的结构是:铁掺杂的非晶碳(a-C:Fe)膜镀于作为衬底的绝缘石英玻璃(SiO2)基片上,铁掺杂的非晶碳膜两端镀有两个铝(Al)层,该两个铝(Al)层作为电极,电极接线连通电压触发器构成。

2.根据权利要求1所述的一种铝/铁掺杂非晶碳膜/铝纳米薄膜记忆电阻存储器,其特征在于:所述铁掺杂的非晶碳(a-C:Fe)膜的Fe掺杂量的原子百分比为10 -15%;所述铁掺杂的的非晶碳(a-C:Fe)膜厚度为30-40nm;所述两个铝(Al)层厚度为80-120nm。

3.一种铝/铁掺杂非晶碳膜/铝纳米薄膜记忆电阻存储器的制备方法,其特征在于:该制备方法以绝缘石英玻璃基片作为衬底,采用脉冲激光沉积方法制备铁掺杂的非晶碳(a-C:Fe)膜,然后再采用真空热蒸发方法在所述碳膜上蒸镀两个铝(Al)层作为电极, 电极接线连通电压触发器,则制成具有铝/铁掺杂非晶碳膜/铝(Al/a-C:Fe/Al)结构的纳米薄膜记忆电阻存储器。

4.根据权利要求3所述的一种铝/铁掺杂非晶碳膜/铝纳米薄膜记忆电阻存储器的制备方法,其特征在于:所述采用脉冲激光沉积方法制备铁掺杂的非晶碳(a-C:Fe)膜,是镀膜时使用纯度为99.99%的石墨和99.9%的金属Fe为靶源,金属Fe片贴在石墨靶上,操作中,通过靶和样件基片自转实现均匀掺杂,Fe掺杂量的原子百分比为10-15 %,激光能量320毫焦/脉冲,腔体真空度1×10-6 mBar,基片温度400-600℃,靶与基片距离4-6 cm,镀膜后退火30-60分钟,自然降温至室温。

5.根据权利要求3所述的一种铝/铁掺杂非晶碳膜/铝纳米薄膜记忆电阻存储器的制备方法,其特征在于:所述采用真空热蒸发方法在所述碳膜上蒸镀两个铝(Al)层,是通过掩膜板控制,在铁掺杂的非晶碳(a-C:Fe)膜的两端蒸镀铝(Al)层,蒸镀时,将一小段20-30毫克、纯度为99.9%的Al放入加热舟内,腔内抽至背底真空10-6mBar,室温下增大电流直至铝(Al)镀层厚度为80-120nm,以铝(Al)层作为电极, 电极接线连通电压触发器,则最终制成制成具有铝/铁掺杂非晶碳膜/铝(Al/a-C:Fe/Al)结构的纳米薄膜记忆电阻存储器。