1.一种高精度的变频干涉的四步相移标定方法,其特征在于:具体包括以下步骤:(1)搭建菲索干涉测试光路,以 为中心波长,用CCD相机采集参考光与测试光在干涉场中产生的干涉图像,即原始干涉图,并将其存入计算机中;
(2) 在上述菲索干涉测试光路中,调节变频激光器的驱动电压,改变输出波长值:令,且 ,令 ,那么,在对第t步相移进行标定时,在 内,采集多幅具有不同相移误差的干涉图像,用CCD相机采集多幅相移干涉图像,即误差干涉图,存入计算机中;
(3)将原始干涉图像与误差干涉图像分别除去背景,相乘后,对其进行傅里叶变换,再经低通滤波后,对其低频部分的强度值求和,经拟合后得到相移量-误差曲线,通过求取该曲线的极值点,实现相位的精确标定。