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专利号: 2014103248691
申请人: 安徽建筑大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕
更新日期:2024-02-26
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种高取向二氧化钒薄膜的液相制备方法,其制备方法是先用钒的醇盐制备前驱液,然后将前驱液涂于衬底表面制备前驱物薄膜,最后不经过烘胶干燥直接将前驱物薄膜置于真空条件下烧制而成;具体如下:(1)以三异丙醇氧钒为溶质,异丙醇为溶剂配制前驱液;

(2)把所得前驱液涂于蓝宝石衬底,制得前驱物薄膜;

(3)把所得前驱物薄膜置于真空炉中烧结,保温7小时,即得到二氧化钒薄膜,其中,烧结温度控制在530℃,烧结环境真空度控制在4Pa。

2.根据权利要求1所述的一种高取向二氧化钒薄膜的液相制备方法,其特征在于:在步骤(1)制备前驱液时,加入冰醋酸作为稳定剂,冰醋酸与三异丙醇氧钒的质量比为1:1~6:1。

3.根据权利要求1所述的一种高取向二氧化钒薄膜的液相制备方法,其特征在于:在步骤(1)制备的前驱液中,三异丙醇氧钒与异丙醇的质量体积比g:ml为1-15:100。