1.一种高灵敏度谐振式MEMS矢量水听器结构,其特征在于:包括四梁臂硅微结构(1)、微型柱状体(2)、中心连接体(3)、驱动电极(4)、检测电极(5);
其中,四梁臂硅微结构(1)和中心连接体(3)均位于同一平面;微型柱状体(2)的下端垂直固定于中心连接体(3)的上表面中央;驱动电极(4)的数目、检测电极(5)的数目均为八个;
第一个驱动电极(4)铺设于四梁臂硅微结构(1)的前梁臂的上表面左前部;第二个驱动电极(4)铺设于四梁臂硅微结构(1)的前梁臂的上表面左后部;第三个驱动电极(4)铺设于四梁臂硅微结构(1)的左梁臂的上表面左后部;第四个驱动电极(4)铺设于四梁臂硅微结构(1)的左梁臂的上表面右后部;第五个驱动电极(4)铺设于四梁臂硅微结构(1)的后梁臂的上表面左前部;第六个驱动电极(4)铺设于四梁臂硅微结构(1)的后梁臂的上表面左后部;第七个驱动电极(4)铺设于四梁臂硅微结构(1)的右梁臂的上表面左后部;第八个驱动电极(4)铺设于四梁臂硅微结构(1)的右梁臂的上表面右后部;
第二个驱动电极(4)的极性与第一个驱动电极(4)的极性相反;第五个驱动电极(4)的极性与第二个驱动电极(4)的极性相反;第六个驱动电极(4)的极性与第五个驱动电极(4)的极性相反;第四个驱动电极(4)的极性与第三个驱动电极(4)的极性相反;第七个驱动电极(4)的极性与第四个驱动电极(4)的极性相反;第八个驱动电极(4)的极性与第七个驱动电极(4)的极性相反;
第一个检测电极(5)铺设于四梁臂硅微结构(1)的前梁臂的上表面右前部;第二个检测电极(5)铺设于四梁臂硅微结构(1)的前梁臂的上表面右后部;第三个检测电极(5)铺设于四梁臂硅微结构(1)的左梁臂的上表面左前部;第四个检测电极(5)铺设于四梁臂硅微结构(1)的左梁臂的上表面右前部;第五个检测电极(5)铺设于四梁臂硅微结构(1)的后梁臂的上表面右前部;第六个检测电极(5)铺设于四梁臂硅微结构(1)的后梁臂的上表面右后部;第七个检测电极(5)铺设于四梁臂硅微结构(1)的右梁臂的上表面左前部;第八个检测电极(5)铺设于四梁臂硅微结构(1)的右梁臂的上表面右前部。
2.根据权利要求1所述的一种高灵敏度谐振式MEMS矢量水听器结构,其特征在于:每个驱动电极(4)均由Pt/Ti层(8)、PZT压电薄膜(9)、Au层(10)自下而上层叠而成;每个检测电极(5)均由Pt/Ti层(8)、PZT压电薄膜(9)、Au层(10)自下而上层叠而成。