1.具有回转误差监测功能的空气静压主轴,包括柱面电容传感器、空气静压轴承、节流器、密封塞和主轴,其特征在于: 所述主轴的中部设有一体成型的止推盘;所述空气静压轴承在中心处开设有主轴安装孔;主轴安装孔的外端孔壁开设有沿圆周均布的多个电极板安装槽;所述的柱面电容传感器包括多片弧形电极板,弧形电极板的数量与电极板安装槽的数量相等;两个空气静压轴承的每个电极板安装槽内设有一片弧形电极板,弧形电极板的两端面分别与对应电极板安装槽的两侧壁配合连接;所述主轴的两端分别套置在两个空气静压轴承的主轴安装孔内;所述止推盘的两端面分别与一个空气静压轴承的内端面相对设置,且均设有间隙;所述的两个空气静压轴承通过螺钉连接; 所述空气静压轴承的外圆面沿轴向开设有两个通气孔组,内端面开设有环形槽和沿圆周分布的多个止推孔;两个空气静压轴承的环形槽连通;所述的通气孔组包括沿圆周均布且数量与止推孔相等的多个通气孔;所述的通气孔沿空气静压轴承的径向设置,包括集气孔、增压孔和稳压孔;所述集气孔的外端开口于空气静压轴承的外圆面;所述增压孔的两端分别与集气孔的内端和稳压孔的内端连通;所述稳压孔的外端开口于主轴安装孔的孔壁;两个通气孔组中的一个集气孔为进气孔,其余所有集气孔的顶端设有密封塞;两个通气孔组的所有集气孔均与环形槽连通;其中一个通气孔组的每个集气孔与对应一个止推孔的内端连通;所有止推孔的外端均套置有节流器。
2.根据权利要求1所述的具有回转误差监测功能的空气静压主轴,其特征在于:所述主轴的外圆面、空气静压轴承的主轴安装孔的孔壁、止推盘的两端面、空气静压轴承与止推盘的相对面均为超精密加工面。