1.一种晶体生长设备,其特征在于,该设备包括加热炉(1)、反应室(2)、密封装置(3)和减压装置(4),所述的反应室(2)的下部埋设在加热炉(1)内,密封装置(3)密封反应室(2)的上部,减压装置(4)与密封装置(3)连通;
所述的密封装置(3)包括法兰盖(301)、法兰盘(302)及连通管(306),其中:
所述的法兰盖(301)包覆反应室(2)的口部,法兰盘(302)将法兰盖(301)与反应室(2)密封;
连通管(306)与法兰盖(301)一体式连通,减压装置(4)通过连通管(306)与反应室(2)的内部空间连通;
所述的法兰盖(301)包括上部的密封盖和与密封盖同轴连接的下部套管,法兰盖(301)的下部套管贴合在反应室(2)的口部外周;
所述的法兰盘(302)为与法兰盖(301)同轴贴合的圆环状部件,沿法兰盘(302)的下部圆周方向设有冷却盘(303),法兰盘(302)和冷却盘(303)包合在法兰盖(301)下部套管的外周;
沿所述的冷却盘(303)的内侧圆周上设有凸环(305),凸环(305)与法兰盖(301)的下部套管的底周接合,且在凸环(305)与法兰盖(301)的下部套管的接合处设有密封圈(304);
所述的凸环(305)有多个,相邻的凸环(305)间设有密封圈(304)。
2.如权利要求1所述的晶体生长设备,其特征在于,所述的密封装置(3)上还设有动密封装置(6),动密封装置(6)包括定位管(601)、定位块(602)、定位头(603)、加固台(604)、密封法兰(605)和籽晶夹持器(606);
所述的定位管(601)为一端开口另一端封闭的管体,加固台(604)为法兰构件,加固台(604)将定位管(601)的开口端固定在密封法兰(605)上,定位管(601)与密封装置(3)上的法兰盖(301)通过密封法兰(605)密封连通;
定位块(602)为包合在定位管(601)外周的磁性块,定位头(603)为位于定位管(601)内的磁性头,且定位头(603)与籽晶夹持器(606)同轴连接,定位块(602)通过磁力作用控制定位头(603)在定位管(601)内移动。
3.如权利要求2所述的晶体生长设备,其特征在于,以所述的籽晶夹持器(606)为中线对称的设有限位片(202),限位片(202)通过接长杆固定在所述法兰盖(301)上,限位片(202)与籽晶夹持器(606)相距5~10mm。
4.如权利要求1、2或3所述的晶体生长设备,其特征在于,所述的反应室(2)的底部内放置原料室(205),原料室(205)盛装原料并使原料熔融。
5.如权利要求1、2或3所述的晶体生长设备,其特征在于,所述的反应室(2)内设有隔热片(204),隔热片(204)为带有至少两个穿孔的圆形片体,沿反应室(2)的内周上设有定位凸环(201),隔热片(204)同轴式卡在定位凸环(201)上。
6.如权利要求2或3所述的晶体生长设备,其特征在于,所述的减压装置(4)为四通管构件,四通管的一通与密封装置(3)上的连通管(306)密封连通,四通管的另外三通分别连通测压计(401)、放气阀(402)和真空泵(403)。
7.如权利要求1、2或3所述的晶体生长设备,其特征在于,所述的加热炉(1)包括密闭的保温腔体及设在保温腔体内的加热圈(101),加热圈(101)围绕反应室(2)的下部。