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专利号: 2014106263994
申请人: 中北大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种差动隔振式MEMS矢量水听器,其特征在于:包括硅基座框架(1)、悬臂梁(2)以及通过悬臂梁(2)支悬于硅基座框架(1)中心位置的中心连接体(3),中心连接体(3)的四个边分别通过一根悬臂梁(2)与硅基座框架(1)的四个边框固定;每根悬臂梁(2)的根部和端部分别集成有一个压敏电阻(6),四根悬臂梁(2)上的八个压敏电阻(6)阻值都相等;其中,位于X方向的两根悬臂梁(2)上的四个压敏电阻(6)组成一个惠斯通电桥,位于Y方向的两根悬臂梁(2)上的四个压敏电阻(6)组成一个惠斯通电桥;中心连接体(3)的上表面垂直粘结有上微型柱状体(4),中心连接体(3)的下表面垂直粘结有下微型柱状体(5),上、下微型柱状体(4、5)的材料属性以及尺寸完全相同且以中心连接体(3)对称布置,上、下微型柱状体(4、5)的密度与水的密度相同或接近。

2.根据权利要求1所述的差动隔振式MEMS矢量水听器,其特征在于:所述的悬臂梁(2)和中心连接体(3)采用SOI材料经过现有的MEMS微机械工艺加工而成;所述的压敏电阻(6)采用P型硅电阻条,电阻条按[110]晶向布置,且压敏电阻(6)通过现有的扩散工艺加工而成。

3.根据权利要求1或2所述的差动隔振式MEMS矢量水听器,其特征在于:所述的硅基座框架(1)的外边长为3200μm、内边长为2600μm、厚度为40μm;所述的悬臂梁(2)的梁长为1000μm、梁宽为200μm、梁厚为40μm;所述的中心连接体(3)的边长为600μm、厚度为40μm;所述的上、下微型柱状体(4、5)的长度均为5000μm,半径均为150μm。