1.一种氟掺杂二氧化锡透明导电薄膜的制备方法,其特征在于包括如下步骤:
1)称取适量的SnCl2·2H2O,溶于无水乙醇中,在60-80℃下,持续剧烈搅拌,搅拌过程中加入适量的去离子水,形成溶胶,冷却至室温,再加入适量的无水乙醇,继续搅拌20-30min,加入乙酸调节溶液的PH,加入NH4F水溶液,继续搅拌90-100min,形成透明的锡氟溶胶;
2)取适量的正硅酸乙酯缓慢滴入无水乙醇中,搅拌10-15分钟,再滴加适量的去离子水,调节溶液的PH,室温下搅拌1-2小时,静置,形成SiO2溶胶;
3)于载体上,依次旋涂SiO2溶胶和锡氟溶胶后,先在100-120℃下烘干,然后再放入
450-550℃的马弗炉中热处理10-15min,最后进行退火处理,得氟掺杂二氧化锡透明导电薄膜。
2.按照权利要求1所述的氟掺杂二氧化锡透明导电薄膜的制备方法,其特征在于:二水氯化亚锡乙醇溶液的浓度为0.2-0.6mol/L。
3.按照权利要求1所述的氟掺杂二氧化锡透明导电薄膜的制备方法,其特征在于:氟化铵与二水氯化亚锡的摩尔比为1:2.3-19。
4.按照权利要求1所述的氟掺杂二氧化锡透明导电薄膜的制备方法,其特征在于:步骤1)中乙酸调节溶液的PH为2-3。
5.按照权利要求1所述的氟掺杂二氧化锡透明导电薄膜的制备方法,其特征在于:步骤2)中调节溶液的PH为2-3。
6.按照权利要求1所述的氟掺杂二氧化锡透明导电薄膜的制备方法,其特征在于:所述的载体为玻璃片。
7.按照权利要求1所述的氟掺杂二氧化锡透明导电薄膜的制备方法,其特征在于:退火在氮气、真空或空气下进行。
8.按照权利要求7所述的氟掺杂二氧化锡透明导电薄膜的制备方法,其特征在于:退火在氮气下进行。
9.按照权利要求1-8任一所述的氟掺杂二氧化锡透明导电薄膜的制备方法,其特征在于:所述的氟掺杂二氧化锡透明导电薄膜的透射率τ≥80%,电阻率ρ=-3 -3
6.0×10 -7.0×10 Ω·cm。