1.一种无电沉积制备掺铝氧化锌薄膜的方法，包括以下步骤：(1)将无导电性的柔性衬底置于丙酮溶液里进行超声清洗10-20min，然后用去离子水冲洗干净，烘干，得到干净柔性衬底；

其特征在于，还包括以下步骤：

(2)在室温下，将干净柔性衬底浸入敏化溶液中30-60min进行敏化处理，得到敏化柔性衬底；所述的敏化溶液由SnCl2和HCl溶液配制而成，在敏化溶液中SnCl2的浓度为20～60g/L，HCl的浓度为0.12～0.36mol/L，所述的敏化处理是使无导电性的柔性衬底表面吸附敏化

2+

粒子Sn ；

(3)在室温下，将敏化柔性衬底浸入活化溶液中30-60min进行活化处理，得到活化柔性衬底；所述的活化溶液由PdCl2和HCl溶液配制而成，在活化溶液中PdCl2的浓度为0.05～

0.2g/L，HCl的浓度为0.12～0.36mol/L，所述的活化处理是使无导电性的柔性衬底表面吸0

附活化粒子Pd；

(4)在恒温60-90℃下，将活化柔性衬底浸入生长溶液中1.5～3h，使得掺铝氧化锌薄膜在衬底上沉积，最后用去离子水清洗，吹干，即得到掺铝氧化锌薄膜；所述的生长溶液由Zn(NO3)2、Al(NO3)3和二甲胺基硼烷溶液配制而成，在生长溶液中Zn(NO3)2的浓度为0.01～

0.1mol/L，Al(NO3)3的浓度为0.0005～0.01mol/L，二甲胺基硼烷的浓度为0.01～0.03mol/L。

2.如权利要求1所述的无电沉积制备掺铝氧化锌薄膜的方法，其特征在于，所述的无导电性的柔性衬底的材料为聚甲基丙烯酸甲酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚丙烯、聚乙烯、聚碳酸酯、聚苯乙烯或者聚四氟乙烯。

3.如权利要求1所述的无电沉积制备掺铝氧化锌薄膜的方法，其特征在于，所述步骤(4)的操作条件是在密闭容器中安静地进行，不能搅拌。

4.如权利要求1至3中任一所述的无电沉积制备掺铝氧化锌薄膜的方法，其特征在于，所述掺铝氧化锌薄膜的厚度为200～1000nm。