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专利号: 2014108493083
申请人: 浙江工业大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 磨削;抛光
更新日期:2023-12-11
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种钽酸锂晶片的磨削加工方法,其特征在于:所述加工方法包括如下步骤:(1)将金刚石组合砂轮固定在磨床的转盘上;

(2)将待加工的钽酸锂晶片固定在基板上,所述基板固定在工作台上;

(3)加工前开启冷却液覆盖所述待加工的钽酸锂晶片的全部表面,所述冷却液含有电解质溶液,加工时调节切削力大小、主轴转速、工件旋转轴转速和工件进给速度进行磨削加工,制得钽酸锂晶片。

2.如权利要求1所述的一种钽酸锂晶片的磨削加工方法,其特征在于:所述步骤(1)中,所述金刚石组合砂轮为金刚石砂轮上粘结块状金刚石砂轮,所述的块状砂轮的几何形状为心形、矩形或环形金刚石砂轮。

3.如权利要求1或2所述的一种钽酸锂晶片的磨削加工方法,其特征在于:所述步骤(2)中,用石蜡将钽酸锂黏贴在基板上,然后以真空吸盘的方式将钽酸锂基板固定在工作台上。

4.如权利要求1或2所述的一种钽酸锂晶片的磨削加工方法,其特征在于:所述步骤(3)中,加工时调节切削力矩的大小,且切削力矩的增长率小于1W/um,主轴转速为1000rpm~

2000rpm,工件旋转轴转速为20rpm~100rpm,工件进给速度为0.5um/min~5um/min。

5.如权利要求1或2所述的一种钽酸锂晶片的磨削加工方法,其特征在于:所述的基材为铝合金材料、玻璃或亚克力。

6.如权利要求1或2所述的一种钽酸锂晶片的磨削加工方法,其特征在于:所述电解质溶液浓度为1mol/L时PH值为4~6内的酸性溶液或PH值为8~9内的碱性溶液和PH值为7的盐溶液。

7.如权利要求1或2所述的一种钽酸锂晶片的磨削加工方法,其特征在于:所述电解质液的温度为5℃~35℃。

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