1.一种用于生物传感器的表面等离子芯片,其特征在于:由玻璃基底的金属膜层上制作的至少一个微阵列像素组成,所述的微阵列像素上面可附着被测的单层或双层蛋白质膜层,每个微阵列像素由周期的金属纳米线阵列组成,每个微阵列像素的在X方向和Y方向均为分立单元,相邻的微阵列像素单元间无金属膜间隔。
2.根据权利要求1所述的一种手持式高通量生物传感器,其特征在于:所述的表面等离子芯片的微阵列像素在X方向为一维像素阵列,Y方向为多个此一维像素阵列的排列。
3.根据权利要求1所述的一种手持式高通量生物传感器,其特征在于:所述的表面等离子芯片周期阵列衍射图样采用SP(-1,0)表面等离子模式,CCD图像传感器记录的表面等离子模式即为SP(-1,0)模式的衍射图案。
4.根据权利要求1所述的一种手持式高通量生物传感器,其特征在于:所述的表面等离子芯片是由厚H=1mm的玻璃基底12和厚h=50nm金属膜层上制作的至少一个微阵列像素,每个微阵列像素尺寸长L×宽D=100μm×100μm,由线宽d=150nm、周期T=
300nm的金属纳米线阵列组成,所述的LD照明光源的峰值控制在638nm,带宽为12nm。
5.一种用于生物传感器的表面等离子芯片的制备方法,通过以下方法实现:
首先,在玻璃基底上沉积三层介质,分别为抗反射薄膜、二氧化硅薄膜和光刻胶薄膜;
其次,在这些膜层上面利用电子束汽化方法沉积一层金膜层;
最后,将多余的金膜层从抗反射薄膜层除去,留下具有周期的金膜线阵结构,即微阵列像素组成,在微阵列像素上面可附着被测的单层或双层蛋白质膜层,每个微阵列像素金属纳米线阵列组成,每个微阵列像素的在X方向和Y方向均为分立单元,相邻的微阵列像素单元间有的无金属膜间隔。