1.一种超声波辅助三相磨粒流抛光加工装置，其特征在于：包括超声波换能器、平面圆形活塞式发射头(4)、固定法兰盘、三相磨粒流流道(17)、流道盖板(13)、密封连接盘和底座(1)，三相磨粒流流道(17)固定在底座(1)上，流道盖板(13)固定在三相磨粒流流道(17)上，三相磨粒流流道(17)的出口和入口处均设有螺纹管(2)，三相磨粒流流道(17)内设有安装待抛光工件的凹槽；所述超声波换能器与所述底座(1)垂直安装，三相磨粒流流道(17)位于超声波换能器的正下方；所述超声波换能器连接平面圆形活塞式发射头(4)，所述平面圆形活塞式发射头(4)通过密封连接盘连接流道盖板(13)，所述超声波换能器通过平面圆形活塞式发射头(4)将超声波垂直发射进入三相磨粒流流道(17)中；所述超声波换能器通过固定法兰盘固定在底座(1)上；所述超声波换能器通过平面圆形活塞式发射头(4)发射出的超声波为频率为20KHz、功率为100W的弹性机械振动波；三相磨粒流(14)是由液固二相磨粒流与微尺寸气泡(16)均匀混合形成的混合磨粒流体，所述微尺寸气泡(16)是直径为1～100um的空化气泡，所述微尺寸气泡(16)通过微纳米气泡泵产生并均匀混合进入液固二相磨粒流中。

2.根据权利要求1所述的一种超声波辅助三相磨粒流抛光加工装置，其特征在于：所述固定法兰盘通过夹具(3)固定在底座(1)上。

3.根据权利要求1所述的一种超声波辅助三相磨粒流抛光加工装置，其特征在于：所述密封连接盘和流道盖板(13)通过O型密封圈(20)密封连接。

4.根据权利要求1所述的一种超声波辅助三相磨粒流抛光加工装置，其特征在于：所述固定法兰盘包括母盘(6)和子盘(5)，子盘(5)和超声波换能器之间安装有塑料垫片(19)，母盘(6)和超声波换能器之间安装有橡胶减震垫圈(18)。