1.一种超声波辅助三相磨粒流抛光加工方法，用于将超声波应用到三相磨粒流抛光加工中，其特征在于：包括如下步骤：将超声波发生装置垂直安装在三相磨粒流流道(17)的上方，利用超声波在含有微尺寸气泡(16)的三相磨粒流(14)介质中对工件加工表面附近的微尺寸气泡(16)压缩致使微尺寸气泡(16)溃灭，微尺寸气泡(16)溃灭时会产生一种微激波，微激波使得三相磨粒流(14)内局部区域产生很大的压强从而产生微观爆炸作用，并通过微观爆炸作用产生垂直向下的分力对微尺寸气泡(16)周围的磨粒产生向下加速推动作用，进而大幅度提高所述三相磨粒流(14)与工件加工表面凸起峰的接触几率和作用力，由此大幅度提高三相磨粒流(14)抛光加工的效率。

2.根据权利要求1所述的一种超声波辅助三相磨粒流抛光加工方法，其特征在于：所述逆向超声波的功率和频率通过外接电路和控制系统进行人为控制，进而可以人为控制三相磨粒流(14)中的微尺寸气泡(16)的溃灭速率，提高微尺寸气泡(16)靠近工件加工表面处的溃灭几率。

3.一种超声波辅助三相磨粒流抛光加工装置，其特征在于：包括超声波换能器、平面圆形活塞式发射头(4)、固定法兰盘、三相磨粒流流道(17)、流道盖板(13)、密封连接盘和底座(1)，三相磨粒流流道(17)固定在底座(1)上，流道盖板(13)固定在三相磨粒流流道(17)上，三相磨粒流流道(17)的出口和入口处均设有螺纹管(2)，三相磨粒流流道(17)内设有安装带抛光工件的凹槽；所述超声波换能器与所述底座(1)垂直安装，三相磨粒流流道(17)位于超声波换能器的正下方；所述超声波换能器连接平面圆形活塞式发射头(4)，所述平面圆形活塞式发射头(4)通过密封连接盘连接流道盖板(13)，所述超声波换能器通过平面圆形活塞式发射头(4)将超声波垂直发射进入三相磨粒流流道(17)中；所述超声波换能器通过固定法兰盘固定在底座(1)上。

4.根据权利要求3所述的一种超声波辅助三相磨粒流抛光加工装置，其特征在于：所固定法兰盘通过夹具(3)固定在底座(1)上。

5.根据权利要求3所述的一种超声波辅助三相磨粒流抛光加工装置，其特征在于：所述密封连接盘和流道盖板(13)通过O型密封圈(20)密封连接。

6.根据权利要求3所述的一种超声波辅助三相磨粒流抛光加工装置，其特征在于：所述超声波换能器通过平面圆形活塞式发射头(4)发射出的超声波为频率为20KHz、功率为

100W的弹性机械振动波。

7.根据权利要求3所述的一种超声波辅助三相磨粒流抛光加工装置，其特征在于：三相磨粒流(14)是由液固二相磨粒流与微尺寸气泡(16)均匀混合形成的混合磨粒流体，所述微尺寸气泡(16)是直径为1～100um的空化气泡，所述微尺寸气泡(16)通过微纳米气泡泵产生并均匀混合进入液固二相磨粒流中。

8.根据权利要求3所述的一种超声波辅助三相磨粒流抛光加工装置，其特征在于：所述固定法兰盘包括母盘(6)和子盘(5)，子盘(5)和超声波换能器之间安装有塑料垫片(19)，母盘(6)和超声波换能器之间安装有橡胶减震垫圈(18)。