1.一种高介电常数的Bi4Ti3-xFexO12铁电薄膜的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1:将FTO导电玻璃基板依次在含有清洁剂的去离子水、丙酮和无水乙醇中超声洗涤10min,洁净的FTO基板封存于无水乙醇中备用;
步骤2:将5ml乙酸酐加入装有Bi(NO3)3·5H2O和Fe(NO3)3·9H2O的烧杯中,静置1h使原料溶解;将该混合溶液加入装有Ti(OC4H9)4的烧杯中,搅拌均匀;再向溶液中加入15ml乙二醇甲醚,继续磁力搅拌5~8h,得到混合均匀的前驱液;前驱液中Bi3+、Ti4+和Fe3+的总浓度为
0.1mol/L,Bi3+、Ti4+和Fe3+的摩尔比为4︰(3-x)︰x,其中x=0.01~0.10;
步骤3:将浸泡在无水乙醇的FTO玻璃基板用去离子水冲洗,氮气吹干,紫外线照射
40min,再用透明胶带将FTO玻璃基板固定在匀胶机中心;
步骤4:打开匀胶机开关,使FTO玻璃基板旋转,过程中将前驱液匀速滴在FTO玻璃基板上,停止旋转后取下FTO玻璃基板放在250℃烤胶机上烘烤5min,使有机物挥发得到负载有薄膜的FTO玻璃基板;
步骤5:将所得负载有薄膜的FTO玻璃基板放入电炉中,580~620℃下退火5~30min;
步骤6:重复步骤4~5,直到薄膜厚度达到要求。
2.根据权利要求1所述高介电常数的Bi4Ti3-xFexO12铁电薄膜的制备方法,其特征在于,所述步骤4中,先使FTO玻璃基板低速旋转10s,用滴管取8滴前驱液匀速滴在FTO玻璃基板上,然后高速旋涂15s,之后取下进行烘烤。