1.一种测量薄涂层厚度及其结合强度的方法，其特征是：测量薄涂层厚度及其结合强度的方法，基体表面制备的厚度为10nm到1μm范围的薄涂层，选用金刚石压针进行变载荷划痕，划痕长度为1-10μm，法向载荷为500μN-8000μN，在得到的纳米划痕数据结果中，可在摩擦系数随时间的变化曲线中找到曲线突变位置，结合法向力随时间的变化曲线，得出薄涂层被破坏时的法向载荷，再根据法向位移随时间的变化曲线得到压入深度，该深度即为涂层厚度，根据压入深度可计算出接触面积，进而计算出涂层的结合强度；具体步骤如下：a、将表面镀有涂层的材料进行表面抛光处理，直至表面粗糙度Ra=0.05；若是所镀涂层材料的表面粗糙度优于Ra=0.05，则不用抛光处理；

b、将样品用去离子水超声清洗5—10min，去离子水冲洗3次；

c、将样品平整的放置在原位纳米力学测试系统的样品室里；

d、然后对样品进行安全区域设置和系统标定；

e、对样品进行线性加载，完成上述实验后，打开划痕数据窗口，选择摩擦系数曲线，摩擦系数突变时对应的载荷即为涂层被破坏时的法向载荷，记下该临界载荷F，结合法向位移随时间曲线可得到涂层被破坏时的针尖法向位移，此时所对应的位移即为涂层厚度hc；

f、根据压入深度和针尖曲率半径计算出接触面积，面积公式为

2 1/2 1/4 1/8 1/16

A（hc）=C0 hc+C1 hc+C2 hc +C3 hc +C4 hc +C5 hc其中，C0、C1、C1、C4、C5为已知的常数，使用上一步得到的临界载荷与该接触面积相除，即得到涂层与基体的结合强度P，单位为MPa。